第(1/3)頁 趙燁給這臺光刻機設計的光刻機運動系統(tǒng),是利用了杠桿原理來實現(xiàn)的。 畢竟現(xiàn)在這臺機器還是幾乎是純手動,趙燁利用精密的絲桿,再帶精密齒輪組,把底座的運動距離,放大了很多倍,這樣才能實現(xiàn)光刻機外面設置的手輪, 轉動一圈,底座按照設計位移兩微米。這幾乎是這個時代的極限了。 這樣的手輪在光刻機的操作臺上有七個,分別控制底座不同的運動路徑。等到這套系統(tǒng)被安裝完畢后,幾個專家立即就進行測試。測試的工作比安裝還要慢,等測試的工作完成后,整個地下室都響起了熱烈的掌聲。 “太不可思議了,太偉大了!這簡直就是奇跡!”負責測量的人員,都猛烈的拍著巴掌,對這些高級技工, 報以熱烈的掌聲。 這些精密加工,都是趙燁這幾個人,一點點的用手完成的。最后的移動精度,震驚了精密測量專業(yè)的專家。 要實現(xiàn)如此精密的位移,這一點兒都不簡單。 掌聲停止了,工作照常進行。 一些測量用的設備,一些被拆除了,還有一些被保留了下來。然后就輪到透鏡組進行安裝了。 趙燁還有幾個過來支援的高級鉗工,一步步,一點點的把整套系統(tǒng)安裝完畢,整整用了一個星期,第一臺設備才算是正式誕生并通過了檢測。 眾人無不激動的掉淚,這幾乎就是國家精密儀器的代表之作!在此時此刻,它甚至可以說是全世界最精密的儀器之一都毫不過分。 眾人激動過后,就是合影留念。唯一還沒有露出笑容的, 只有一個泉教授。 “泉教授, 明天就是試生產了, 成敗可就看你的燈泡了!”沒等趙燁上前說話,慈教授就已經拉著泉教授說了這么一句話。搞的泉教授更加緊張了幾分。 “爭取一次通過,爭取!”泉教授可不敢把話說的太滿,說實話,他是真的心里沒底的。 趙燁一見對方這么說,也就沒有過去再說什么,人家已經這么緊張了,自己就不去給人施加壓力了。 這個時候,無論你說什么安慰話,反饋到對方腦子里的,都是無形的壓力。 趙燁從地下車間走出了,就去看硅錠的處理了。 此時的硅錠,已經從一開始的30mm直徑,擴大到了50mm左右了。生產這個硅錠的是滬上一家工廠。他們在趙燁提供的一些資料的幫助下,成功做出了這種規(guī)格的硅錠。硅錠的純凈度雖然還有待提升,但是至少是能用的了,無非良品率低一些。 不過有趙燁這個bug在,少量的硅錠他還是能處理的。 第(1/3)頁