梁安平親自動(dòng)手，使用專(zhuān)用夾具，將光刻完的幾十片硅晶圓裝進(jìn)專(zhuān)用容器，拿去芯片生產(chǎn)線(xiàn)那邊，去進(jìn)行后續(xù)的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學(xué)機(jī)械研磨等步驟。

    兩個(gè)多小時(shí)之后，所有工序走完，幾十片硅晶圓，變成了一千多枚封裝完成的ARM1芯片。吳志航、吳光輝、梁安平等高管和研發(fā)人員，開(kāi)始動(dòng)手對(duì)這批芯片進(jìn)行全面測(cè)試。半小時(shí)后，所有芯片測(cè)試完成，梁安平對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行了匯總，最后宣布道：“此次一微米光刻機(jī)測(cè)試，共選用了35片硅晶圓，加工過(guò)后，切割封裝成1750枚芯片。經(jīng)全面測(cè)試，合格產(chǎn)品共1203枚，合格率為68.7%。也就是說(shuō)，咱們光刻機(jī)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)的第一臺(tái)一微米光刻機(jī)，第一次開(kāi)機(jī)測(cè)試生產(chǎn)，就成功了，且合格率已經(jīng)達(dá)到了晶圓工廠內(nèi)現(xiàn)有幾臺(tái)佳能和尼康光刻機(jī)的加工水平。”

    聽(tīng)完梁安平的發(fā)言，吳志航帶頭鼓掌，其他北極星高管和研發(fā)人員，以及其他負(fù)責(zé)封裝測(cè)試的員工緊隨其后，現(xiàn)場(chǎng)爆發(fā)出一陣熱烈的掌聲。

    （以下重復(fù)，兩小時(shí)后刷新）

    第二天，吳志航驅(qū)車(chē)返回了深圳電子產(chǎn)業(yè)園，連別墅也沒(méi)回，第一時(shí)間就來(lái)到了晶圓工廠。光刻機(jī)需要工作在超高無(wú)塵環(huán)境下，剛剛組裝完成的測(cè)試樣機(jī)正在無(wú)塵車(chē)間內(nèi)安裝調(diào)試。吳志航換了一身白色防塵服，戴上防塵帽，通過(guò)風(fēng)淋間進(jìn)入無(wú)塵車(chē)間。

    此時(shí)是上午十點(diǎn)左右，處于每天的早班時(shí)間，晶圓工廠的四條芯片生產(chǎn)線(xiàn)正在全力運(yùn)作，數(shù)千名工人，正在生產(chǎn)線(xiàn)上，有條不紊的工作。走過(guò)生產(chǎn)區(qū)域，進(jìn)入測(cè)試區(qū)域，以梁安平為首的幾十名研究人員，正圍在一臺(tái)一人多高的設(shè)備，做最后的調(diào)試，旁邊還有幾名北極星公司的高管站在那里圍觀。吳志航湊上前去，朝研發(fā)部長(zhǎng)吳光輝問(wèn)道：“這臺(tái)就是光刻機(jī)研發(fā)實(shí)驗(yàn)室制作出的第一臺(tái)光刻機(jī)，什么時(shí)候能開(kāi)始光刻測(cè)試？”

    聽(tīng)到有人提問(wèn)，楊威力、丁小雅等人同時(shí)轉(zhuǎn)頭看過(guò)來(lái)，見(jiàn)是老板吳志航，紛紛打招呼問(wèn)好，吳光輝出聲給吳志航解釋道：“對(duì)，就是這臺(tái)機(jī)器，昨天組裝完成之后，第一時(shí)間就從研發(fā)大樓搬運(yùn)到了無(wú)塵車(chē)間，經(jīng)過(guò)一天一夜的安裝調(diào)試，現(xiàn)在已經(jīng)要差不多了。”

    吳志航滿(mǎn)意的點(diǎn)點(diǎn)頭，圍著光刻機(jī)轉(zhuǎn)了一圈，這臺(tái)設(shè)備為全封閉結(jié)構(gòu)，就像一個(gè)四四方方的鐵皮文件柜，外殼噴涂成了乳白色，左右兩側(cè)，設(shè)置有硅晶圓入口和出口，靠外一側(cè)安裝著一個(gè)控制面板和一臺(tái)大屁股顯示器。他有些疑惑的問(wèn)道：“只看外表，和佳能、尼康的光刻機(jī)似乎都不太一樣，這是對(duì)外殼進(jìn)行了優(yōu)化嗎？”

    吳光輝搖搖頭，說(shuō)道：“不止優(yōu)化了外殼，也優(yōu)化了部分內(nèi)部結(jié)構(gòu)。老板你提供的資料里不是有一部分0.5微米光刻機(jī)的預(yù)研資料嗎，梁教授他們研發(fā)一微米光刻機(jī)的時(shí)候，參考了0.5微米光刻機(jī)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，對(duì)設(shè)計(jì)圖進(jìn)行了一些更改優(yōu)化。理論上來(lái)說(shuō)，這些優(yōu)化對(duì)晶圓的加工速度和加工精度，都有所提升，實(shí)際情況如何，還需要測(cè)試過(guò)后才知道。”

    梁安平等人又忙活了半個(gè)多小時(shí)，光刻機(jī)終于調(diào)試完成，將提前準(zhǔn)備好的掩膜版固定到掩膜版工作臺(tái)上。楊威力通過(guò)對(duì)講機(jī)溝通，讓一位名為白巧玲的女工，送來(lái)了幾十片已經(jīng)涂好光刻膠的硅晶圓，梁安平親自動(dòng)手，將硅晶圓安置到光刻機(jī)晶圓入口處的支架上，然后按下操作面板上的啟動(dòng)按鈕。光刻機(jī)內(nèi)部傳出細(xì)微的機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)聲音，一張硅晶圓被機(jī)械臂送進(jìn)光刻機(jī)內(nèi)部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開(kāi)始對(duì)硅晶圓進(jìn)行加工。

    見(jiàn)狀，吳志航出聲詢(xún)問(wèn)道：“這臺(tái)光刻機(jī)使用的是哪種光源，是高壓汞燈產(chǎn)生的436nmg-line和365nmi-line，還是248nm的KrF（氟化氪）準(zhǔn)分子激光作為光源？”

    吳光輝答道：“現(xiàn)在使用的是高壓汞燈產(chǎn)生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機(jī)的加工精度提升到0.35微米，作為未來(lái)一兩代光刻機(jī)的光源足夠使用了。準(zhǔn)分子激光光源，是下一代光刻機(jī)光源技術(shù)，咱們研發(fā)部已經(jīng)立項(xiàng)開(kāi)始研發(fā)，但這種技術(shù)在世界范圍內(nèi)，也是最前沿研發(fā)項(xiàng)目，開(kāi)發(fā)難度非常高，不是短期內(nèi)能攻克的。”

    這臺(tái)光刻機(jī)的加工速度還是很快的，即使是初次測(cè)試，白巧玲拿來(lái)的幾十片硅晶圓也在二分鐘內(nèi)，全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的硅晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測(cè)試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產(chǎn)的ARM1芯片掩膜版，其復(fù)雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產(chǎn)的所有芯片之最。按照原本的計(jì)劃，第一次光刻測(cè)試，應(yīng)該選用最為簡(jiǎn)單的單片機(jī)芯片作為加工目標(biāo)，這樣一來(lái)，就可以從易到難，逐步查漏補(bǔ)缺，將光刻機(jī)修改完善。但梁安平和幾個(gè)主要研發(fā)人員，對(duì)光刻機(jī)測(cè)試樣機(jī)非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的ARM1芯片。

    北極星公司推出的第二代游戲掌機(jī)上市之后，立刻受到電玩愛(ài)好者的熱捧，僅僅上市半個(gè)多月，就售出了300萬(wàn)臺(tái)。隨機(jī)配送的《超級(jí)瑪麗》和《功夫小子》兩款游戲，在畫(huà)面、音效、游戲可玩性上，碾壓市面上的所有游戲。游戲掌機(jī)熱銷(xiāo)，作為主控芯片的ARM1需求量大增，可是產(chǎn)品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。經(jīng)過(guò)孟小剛、梁安平，幾個(gè)相關(guān)領(lǐng)域的專(zhuān)家研究分析，認(rèn)為ARM1合格率過(guò)低的原因恰恰是光刻機(jī)精準(zhǔn)度不達(dá)標(biāo)造成的。晶圓工廠內(nèi)的這幾條芯片生產(chǎn)線(xiàn)畢竟是使用了一二十年的設(shè)備，能正常生產(chǎn)芯片就不錯(cuò)了，想要苛求加工參數(shù)完全達(dá)標(biāo)，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設(shè)備的光刻機(jī)。