第277章 光刻機測試(上)-《我的電子帝國》
寧雪畫完一個線條,放下鉛筆,站直身體,活動一下發酸的手腕,說道:“這是打板用的圖紙,畫幅太大,家里的打印機根本打印不出來。除非購買專用的繪圖儀,才能借助計算機畫這么大的圖紙。”
吳志航尷尬一笑,說道:“我對你們服裝行業還真不太了解,還以為服裝設計圖和電路圖一樣,都能用打印機打印呢。小雪,深圳那邊研發的光刻機已經生產出了樣機,明天我要回國去見證光刻機的第一次測試,你要一起回去嗎?”
寧雪搖搖頭,說道:“飛雪公司剛剛創建,連一件產品都沒賣出去,我肯定不能此時回國,你先自己回去吧。天地玄門不是能設置三個固定穿越點嗎,你在淺水灣別墅那里設一個穿越點,以后白天在深圳上班,晚上通過天地玄門回淺水灣別墅陪我睡覺不就可以了。”
吳志航湊過頭去,在寧雪額頭親了一口,說道:“還是老婆你聰明,有了天地玄門,咱們就再也不怕兩地分居了。”
寧雪臉頰羞紅的將吳志航推開,說道:“這還在公司呢,不要動手動腳的。”
第二天,吳志航驅車返回了深圳電子產業園,連別墅也沒回,第一時間就來到了晶圓工廠。光刻機需要工作在超高無塵環境下,剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。吳志航換了一身白色防塵服,戴上防塵帽,通過風淋間進入無塵車間。
此時是上午十點左右,處于每天的早班時間,晶圓工廠的四條芯片生產線正在全力運作,數千名工人,正在生產線上,有條不紊的工作。走過生產區域,進入測試區域,以梁安平為首的幾十名研究人員,正圍在一臺一人多高的設備,做最后的調試,旁邊還有幾名北極星公司的高管站在那里圍觀。吳志航湊上前去,朝研發部長吳光輝問道:“這臺就是光刻機研發實驗室制作出的第一臺光刻機,什么時候能開始光刻測試?”
聽到有人提問,楊威力、丁小雅等人同時轉頭看過來,見是老板吳志航,紛紛打招呼問好,吳光輝出聲給吳志航解釋道:“對,就是這臺機器,昨天組裝完成之后,第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間,經過一天一夜的安裝調試,現在已經要差不多了。”
吳志航滿意的點點頭,圍著光刻機轉了一圈,這臺設備為全封閉結構,就像一個四四方方的鐵皮文件柜,外殼噴涂成了乳白色,左右兩側,設置有硅晶圓入口和出口,靠外一側安裝著一個控制面板和一臺大屁股顯示器。他有些疑惑的問道:“只看外表,和佳能、尼康的光刻機似乎都不太一樣,這是對外殼進行了優化嗎?”
吳光輝搖搖頭,說道:“不止優化了外殼,也優化了部分內部結構。老板你提供的資料里不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎,梁教授他們研發一微米光刻機的時候,參考了0.5微米光刻機的內部結構,對設計圖進行了一些更改優化。理論上來說,這些優化對晶圓的加工速度和加工精度,都有所提升,實際情況如何,還需要測試過后才知道。”
梁安平等人又忙活了半個多小時,光刻機終于調試完成,將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作臺上。楊威力通過對講機溝通,讓一位名為白巧玲的女工,送來了幾十片已經涂好光刻膠的硅晶圓,梁安平親自動手,將硅晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上,然后按下操作面板上的啟動按鈕。光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音,一張硅晶圓被機械臂送進光刻機內部,在深色玻璃觀察窗上,亮起一抹深邃的紫色光芒,開始對硅晶圓進行加工。
見狀,吳志航出聲詢問道:“這臺光刻機使用的是哪種光源,是高壓汞燈產生的436nmg-line和365nmi-line,還是248nm的KrF(氟化氪)準分子激光作為光源?”
吳光輝答道:“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源,理論上,這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米,作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。準分子激光光源,是下一代光刻機光源技術,咱們研發部已經立項開始研發,但這種技術在世界范圍內,也是最前沿研發項目,開發難度非常高,不是短期內能攻克的。”
這臺光刻機的加工速度還是很快的,即使是初次測試,白巧玲拿來的幾十片硅晶圓也在二分鐘內,全部完成了光刻加工。這些光滑如鏡的硅晶圓上,多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版,是晶圓工廠正在生產的ARM1芯片掩膜版,其復雜程度和尺寸大小,是晶圓工廠出產的所有芯片之最。按照原本的計劃,第一次光刻測試,應該選用最為簡單的單片機芯片作為加工目標,這樣一來,就可以從易到難,逐步查漏補缺,將光刻機修改完善。但梁安平和幾個主要研發人員,對光刻機測試樣機非常有信心,直接上了最大難度,也是需求量最大的ARM1芯片。
北極星公司推出的第二代游戲掌機上市之后,立刻受到電玩愛好者的熱捧,僅僅上市半個多月,就售出了300萬臺。隨機配送的《超級瑪麗》和《功夫小子》兩款游戲,在畫面、音效、游戲可玩性上,碾壓市面上的所有游戲。游戲掌機熱銷,作為主控芯片的ARM1需求量大增,可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間,提升速度非常緩慢。經過孟小剛、梁安平,幾個相關領域的專家研究分析,認為ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。晶圓工廠內的這幾條芯片生產線畢竟是使用了一二十年的設備,能正常生產芯片就不錯了,想要苛求加工參數完全達標,幾乎不可能。其中影響最大的,就是作為核心設備的光刻機。
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