楊杰在得知黃明超等人研發(fā)的極紫外光光刻機(jī)對(duì)波長(zhǎng)在12納米的光源十分敏感，心中也是詫異了一下。 在前世的時(shí)候，艾斯摩爾公司研制的極紫外光光刻機(jī)的波長(zhǎng)控制在13.5納米，這主要是因?yàn)楣饪棠z的原因，這主要是因?yàn)楣饪棠z的配方主要是掌握在住友、tok、陶氏等少數(shù)幾家公司手里，配方自然是又他們來(lái)決定的。 而黃明超他們配方不一樣，自然對(duì)極紫外光光源不同的波長(zhǎng)有著不一樣的光化學(xué)效應(yīng)。 之前黃明超他們來(lái)做實(shí)驗(yàn)主要是用掃描隧道顯微鏡來(lái)觀察光刻膠對(duì)光源照射劑量反應(yīng)后的情況，并不能實(shí)時(shí)地觀察到這個(gè)反應(yīng)過(guò)程，這樣黃明超他們只能是不停靠著試錯(cuò)的方式來(lái)調(diào)整配方。 現(xiàn)在有了這個(gè)神光光源設(shè)施后，通過(guò)利用光源光束脈沖性質(zhì)拍攝一系列的快照，這些快照聚集起來(lái)，隨時(shí)間的推移，可以形成一個(gè)樣品變化的動(dòng)態(tài)圖像。 這個(gè)就是神光光源設(shè)施儀器設(shè)備的時(shí)間分辨技術(shù)，有了這套技術(shù)設(shè)備可以清楚地觀察到光刻膠在光源照射時(shí)的各種反應(yīng)情況，可以讓黃明超他們可以更快地分析判斷光刻膠具體的性能，從而為配方的調(diào)整方向有了非常明確的目標(biāo)，可以大大地縮短研發(fā)時(shí)間。 現(xiàn)在因?yàn)閲?guó)內(nèi)的主要的晶圓廠很大一部分都是使用華興半導(dǎo)體材料公司的光刻膠產(chǎn)品，光是光刻膠這一個(gè)業(yè)務(wù)也是給半導(dǎo)體材料公司每年都帶來(lái)巨大的利潤(rùn)，所以也足夠支撐公司在這方面的研發(fā)。 光刻膠僅為半導(dǎo)體材料公司的子業(yè)務(wù)，公司還研發(fā)高純度的靶材、薄膜晶體管的薄膜材料、氮化鎵材料、晶體硅材料等，總共有數(shù)千名的工程師團(tuán)隊(duì)。 雖然說(shuō)半導(dǎo)體材料公司每年光是研發(fā)投入就是十多億美金，不過(guò)這個(gè)子公司每年的營(yíng)收也是在上百多億美金，雖然規(guī)模不大，但是真的是非常賺錢，利潤(rùn)率極高。 由于光刻膠等半導(dǎo)體材料技術(shù)門檻高，全世界能夠供應(yīng)的也都是那些大型材料商公司，數(shù)量極少，楊杰就是靠著自己建立起來(lái)的產(chǎn)業(yè)鏈?zhǔn)褂米约汗咎峁┑牟牧虾芏虝r(shí)間內(nèi)就讓半導(dǎo)體材料公司由無(wú)到有，由弱變強(qiáng)，在不降低產(chǎn)品品質(zhì)的前提下精心地培養(yǎng)半導(dǎo)體材料公司，現(xiàn)在也是成為了能夠跟海外那些大型材料商掰手腕的公司。 現(xiàn)在很多海外的客戶也是開(kāi)始選用華興半導(dǎo)體材料公司的產(chǎn)品來(lái)進(jìn)行生產(chǎn)，海外的客戶數(shù)也是越來(lái)越多。 同時(shí)因?yàn)橛米约汗镜牟牧洗罅咳〈撕Ｍ夤镜牟牧希彩谴蠓亟档土俗约耶a(chǎn)品的生產(chǎn)成本，也是讓整個(gè)公司的產(chǎn)品始終是保持足夠的利潤(rùn)空間。 前世的時(shí)候國(guó)內(nèi)雖然半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)也是看著很繁榮，但是彼此之間都是割裂開(kāi)來(lái)的，很多的半導(dǎo)體材料都是掌握在海外的公司手里，決定著定價(jià)權(quán)，國(guó)內(nèi)的這些材料國(guó)內(nèi)的晶圓廠很多都是受制于外資，不會(huì)用也不敢用國(guó)產(chǎn)的材料。 但是現(xiàn)在中晶微、華越電子公司、華晶科技集團(tuán)公司這三大公司的自主性都是非常高，剛開(kāi)始的時(shí)候主要是用海外的半導(dǎo)體材料，之后逐步地開(kāi)始用半導(dǎo)體材料公司的材料來(lái)代替，這方面都是很同步的。 所以除了華興半導(dǎo)體材料公司之外，國(guó)內(nèi)也是出現(xiàn)了十多家能夠提供可靠國(guó)產(chǎn)化半導(dǎo)體材料的公司，半導(dǎo)體材料的國(guó)產(chǎn)化程度已經(jīng)達(dá)到了百分之七十多，這些國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體材料公司都是活得比較滋潤(rùn)。 不過(guò)在光刻掩膜光罩這個(gè)細(xì)分領(lǐng)域卻是因?yàn)槭袌?chǎng)場(chǎng)集中度高，寡頭壟斷嚴(yán)重，豐創(chuàng)集團(tuán)、霓虹國(guó)的dpn和社toppan三家占據(jù)80%以上的市場(chǎng)份額，不過(guò)這個(gè)市場(chǎng)規(guī)模也不大，現(xiàn)階段來(lái)說(shuō)只有二十多億美金的樣子，所以半導(dǎo)體材料公司在這方面就沒(méi)有發(fā)力了，而是主要跟著幾家公司都是有合作。 楊杰也從來(lái)沒(méi)有說(shuō)自己要把半導(dǎo)體材料整個(gè)市場(chǎng)給吞下來(lái)的想法，這些公司在這些細(xì)分領(lǐng)域持續(xù)研發(fā)了這么多年了，自然是有其過(guò)人之處。 而且華興集團(tuán)公司現(xiàn)在已經(jīng)掌握了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)最核心的技術(shù)，自然也是有底氣進(jìn)行合作的。 而且這些公司也是十分樂(lè)意跟華興集團(tuán)公司進(jìn)行合作，為華興集團(tuán)公司開(kāi)發(fā)各種高階的光刻掩膜光罩。 現(xiàn)在國(guó)內(nèi)成了全世界最大的芯片生產(chǎn)基地，這幾家光罩廠自然對(duì)國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體市場(chǎng)十分重視，豐創(chuàng)集團(tuán)公司還在潭州市這邊建設(shè)了最高等級(jí)的光罩廠，專門為中晶微、華越電子公司、華晶集團(tuán)公司、天馬科技公司等公司提供高端的光罩。 華興集團(tuán)公司現(xiàn)在正在研發(fā)極紫外光光刻機(jī)，自然也是跟豐創(chuàng)集團(tuán)公司有過(guò)接觸，希望他們能夠研發(fā)出極紫外光光刻掩膜的光罩。 極紫外光光刻機(jī)光刻的時(shí)候使用鏡面反射光而不是用透鏡折射光，所以采用的光掩膜版也需要改成反射型，改用覆蓋在基體上的硅和鉬層來(lái)制作，同時(shí)因?yàn)闃O紫外光光刻機(jī)因?yàn)橹瞥坦に嚇O高，對(duì)光掩膜版的準(zhǔn)確度、精密度、復(fù)雜度要求比以往更高。 當(dāng)前制作掩膜版普遍使用的可變形狀電子束設(shè)備，其寫入時(shí)間成為最大的挑戰(zhàn)，解決方案之一是采用多束電子束設(shè)備，這就需要這些生產(chǎn)制造電子束設(shè)備的公司開(kāi)發(fā)相關(guān)多束電子束產(chǎn)品。 也是因?yàn)闃O紫外光光源破壞性太大，就算是豐創(chuàng)集團(tuán)公司能夠提供光刻掩膜，但是華興集團(tuán)公司也必須要研發(fā)出光掩膜的保護(hù)層薄膜，提供阻隔外界污染的實(shí)體屏障，可以防止微塵或揮發(fā)氣體污染光掩膜表面，減少光掩膜使用時(shí)的清潔和檢驗(yàn)。 而且這些薄膜的對(duì)光源的透射率太差的話，會(huì)大大地影響到光刻機(jī)的產(chǎn)量，如果光刻機(jī)的每個(gè)小時(shí)的晶圓吞吐量過(guò)低的話也是楊杰不能忍受的。 為了達(dá)到這些設(shè)計(jì)目標(biāo)，華興集團(tuán)公司還有大量的研發(fā)要去做，沒(méi)有個(gè)五六年的功夫這些技術(shù)是無(wú)法成熟起來(lái)的。