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    現(xiàn)在市場上尼康、佳能、艾斯摩爾三家主力都是以氟化氪激光光源為主，極限制程工藝在130納米，高端的機型是以氟化氬激光光源的光刻機，極限制程工藝在65納米。

    現(xiàn)在瑞星科技公司氟化氪激光光源光刻機極限制程工藝可以達到90納米，這還是因為工件臺的進度不夠導致的，如果能把工件臺的運動精度控制在2納米，那么制程工藝可以達到70納米左右！

    瑞星科技公司在掌握沉浸式光刻技術后簡直像是一頭野蠻的公牛闖進了瓷器店一般，將這個原本只有三家瓜分的光刻機市場是攪得天翻地覆！

    去年十月份瑞星科技公司推出的pas系列機型銷售情況十分好，到現(xiàn)在總共是賣出去了五十多臺，而且差不多有一大半是海外的客戶，而采用氟化氪激光光源的xt系列也是賣出去了三臺。

    倒不是瑞星科技公司不想賣，而是德國蔡司提供的鏡組就只有十幾套，剩下的都要留給中晶微和華越電子公司以及華晶集團，實在是沒貨了。

    不過pas系列的機型因為產能供得上，不過瑞星科技公司現(xiàn)在產能也是很吃緊——人手不夠了。

    在得知這個消息后，李開元也是格外高興，“提出沉浸式光刻機技術是你提出來的方案吧，之前幾年瑞星科技公司都是不聲不響的，現(xiàn)在技術成熟后馬上就推出了先進的產品，可以說是徹底地把這個市場格局給改變了，這證明科技創(chuàng)新才是最重要的。”

    “是呀，現(xiàn)在瑞星科技公司掌握了光刻機的核心技術，國外對我們在半導體產業(yè)的限制是越來越少了。”馬秋林笑著說道。

    “比起淡馬錫集團公司的來訪，這個消息意義就更為重大了。”李開元點頭道。

    “這次中晶微公司收購了特許半導體的兩家晶圓廠，還要和特許半導體再合資興建一座十二寸的晶圓廠，這些晶圓廠的產能主要是用來生產什么類型的芯片？”

    孫世聰問道。

    “主要是用來生產手機相機需要的圖像傳感器跟控制芯片。”
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