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    楊杰提前把沉浸式光刻技讓瑞星科技公司研發(fā)出來就是為了為了解決國內(nèi)現(xiàn)階段在半導(dǎo)體技術(shù)整體不足的情況。

    現(xiàn)階段瑞星科技公司自工件臺上的運動精度只能控制在4納米，制造出來的光刻機只能保證極限制程工藝維持在90納米的，而三陽光學(xué)公司自己現(xiàn)在制造出來的鏡片光學(xué)數(shù)值孔徑只能達到0.5，距離德國蔡司制造出來的鏡組0.7還是有不小的距離。

    不過今年上半年機床研究院的超高精度設(shè)備研發(fā)部門會推出超高精度的數(shù)控磨床，到明年初三陽光學(xué)公司應(yīng)該能生產(chǎn)出更高數(shù)值孔徑的鏡組出來。

    瑞星科技公司在光刻機跟刻蝕機的設(shè)計跟系統(tǒng)整合方面這些年已經(jīng)逐步成熟了，這讓楊杰有信心在明年就可以大批量的生產(chǎn)出沉浸式光刻機出來，到時候可以大幅地降低國內(nèi)晶圓廠的建設(shè)成本。

    現(xiàn)在艾斯摩爾公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻機一套要賣到兩千萬到五千萬美金之間，一座晶圓廠至少需要3到4臺，瑞星科技公司到現(xiàn)在已經(jīng)在國內(nèi)賣出去了三十多臺，在這個上面賺了差不多5億多美金，光刻機反倒是賣得最多，總共賣出去了六百多臺，每臺售價在一百八十萬美金，差不多賺了十多億美金，現(xiàn)在國外很多公司也是向瑞星科技公司開始下訂單采購刻蝕機。

    其實從前年開始，瑞星科技公司就開始99下半年年就開始實現(xiàn)了盈利，楊杰這幾年總共向瑞星科技公司投入了接近二十多億美金，現(xiàn)在終于是見到了成效。

    現(xiàn)在瑞星科技公司的研發(fā)人員超過了三千多人，并且積極地跟國內(nèi)外的公司合作。

    楊杰利用跟自己跟軍方良好的關(guān)系，將光刻機的10個分系統(tǒng)、數(shù)萬個機械件件、100多個傳感器分包給了給了國內(nèi)的上千家研究所和數(shù)百家軍工企業(yè)來完成。

    瑞星科技公司則是負責(zé)這些系統(tǒng)的整合和檢測驗收，自己主要的精力集中在幾個核心系統(tǒng)的研發(fā)。

    軍方高層對此非常重視，更關(guān)鍵的是瑞星科技公司定制的這些系統(tǒng)雖然要求極為嚴(yán)苛，但是給的訂金十分豐厚，去年一年交付產(chǎn)品從瑞星科技公司拿到的款項就達到了五十多億。

    既然這么賺錢，軍方自然是十分舍得下本錢，前年就把所有的生產(chǎn)設(shè)備全都更新了一遍，很多設(shè)備還是從機床研究院定制的，并且加大了研發(fā)投入。

    現(xiàn)在瑞星科技公司產(chǎn)品線分為pas系列和xt系列，其中pas系列光源為高壓汞燈光源，這種機型使用了瑞星科技公司自己設(shè)計生產(chǎn)的鏡組，鏡頭是三陽光學(xué)公司生產(chǎn)提供的，也采用了步進掃描沉浸式技術(shù)，因為使用了沉浸式技術(shù)，這種波長在365納米的光源原本極限制程只能達到0.25微米，但是現(xiàn)在可以提升到了120納米，而且價格只有一千美金！
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