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    楊杰提前把沉浸式光刻技讓瑞星科技公司研發出來就是為了為了解決國內現階段在半導體技術整體不足的情況。

    現階段瑞星科技公司自工件臺上的運動精度只能控制在4納米，制造出來的光刻機只能保證極限制程工藝維持在90納米的，而三陽光學公司自己現在制造出來的鏡片光學數值孔徑只能達到0.5，距離德國蔡司制造出來的鏡組0.7還是有不小的距離。

    不過今年上半年機床研究院的超高精度設備研發部門會推出超高精度的數控磨床，到明年初三陽光學公司應該能生產出更高數值孔徑的鏡組出來。

    瑞星科技公司在光刻機跟刻蝕機的設計跟系統整合方面這些年已經逐步成熟了，這讓楊杰有信心在明年就可以大批量的生產出沉浸式光刻機出來，到時候可以大幅地降低國內晶圓廠的建設成本。

    現在艾斯摩爾公司、尼康、佳能公司推出的氟化氪光源的光刻機一套要賣到兩千萬到五千萬美金之間，一座晶圓廠至少需要3到4臺，瑞星科技公司到現在已經在國內賣出去了三十多臺，在這個上面賺了差不多5億多美金，光刻機反倒是賣得最多，總共賣出去了六百多臺，每臺售價在一百八十萬美金，差不多賺了十多億美金，現在國外很多公司也是向瑞星科技公司開始下訂單采購刻蝕機。

    其實從前年開始，瑞星科技公司就開始99下半年年就開始實現了盈利，楊杰這幾年總共向瑞星科技公司投入了接近二十多億美金，現在終于是見到了成效。

    現在瑞星科技公司的研發人員超過了三千多人，并且積極地跟國內外的公司合作。

    楊杰利用跟自己跟軍方良好的關系，將光刻機的10個分系統、數萬個機械件件、100多個傳感器分包給了給了國內的上千家研究所和數百家軍工企業來完成。

    瑞星科技公司則是負責這些系統的整合和檢測驗收，自己主要的精力集中在幾個核心系統的研發。

    軍方高層對此非常重視，更關鍵的是瑞星科技公司定制的這些系統雖然要求極為嚴苛，但是給的訂金十分豐厚，去年一年交付產品從瑞星科技公司拿到的款項就達到了五十多億。

    既然這么賺錢，軍方自然是十分舍得下本錢，前年就把所有的生產設備全都更新了一遍，很多設備還是從機床研究院定制的，并且加大了研發投入。

    現在瑞星科技公司產品線分為pas系列和xt系列，其中pas系列光源為高壓汞燈光源，這種機型使用了瑞星科技公司自己設計生產的鏡組，鏡頭是三陽光學公司生產提供的，也采用了步進掃描沉浸式技術，因為使用了沉浸式技術，這種波長在365納米的光源原本極限制程只能達到0.25微米，但是現在可以提升到了120納米，而且價格只有一千美金！
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