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    刻蝕腔體：刻蝕腔體是ED刻蝕設備的核心結構，它對刻蝕速率、刻蝕的垂直度以及粗糙度都有直接的影響，刻蝕腔的主要組成有：上電極、ED射頻單元、RT  射頻單元、下電極系統(tǒng)、控溫系統(tǒng)等組成。

    供氣系統(tǒng)：供氣系統(tǒng)是向刻蝕腔體輸送各種刻蝕氣體，通過壓力控制器（PC）和質量流量控制器（MFC）精準的控制氣體的流速和流量。

    真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)有兩套，分別用于預真空室和刻蝕腔體。

    刻蝕腔體就是現(xiàn)在桌子上卡動不彈不了的那組合件。

    現(xiàn)在刻蝕腔體就把劉林給卡住了，后面還有曝光鏡頭，CCD相機等十幾個同等難度的組合件呢。

    RDD離子激光儀工藝技術精度是0.1μm！

    劉林看到精度的時候，太陽穴不由的又跳了跳，要知道超級加工中心精度才0.001MM，都是同一個級別了好吧。

    臥槽......

    劉森差點爆了個粗口，太坑爹了吧，不出問題才就怪事了，以現(xiàn)在的工藝基本就加工不出來好吧。

    超級加工中心還是自己用作弊手段才弄出來的好吧，現(xiàn)在想直接加工到0.1μm，想多了吧，晚上睡覺多放個枕頭。

    夢中什么都有了，劉林看到這，基本可以肯定不是自己技術不行，而是自己所用的設備，根本沒辦法把RDD離子激光儀制造出來。

    因為不是一個層次的東西。

    全世界有一家算有家，如果誰能制造出來，劉林直接叫他爹都行。

    劉林瞄了眼好像還有最后一頁，本來就不想看的，那就瞅兩眼吧，至少知道后面還有什么困難等著自己！

    三分鐘后，劉林放下手中的資料。

    “老板有什么發(fā)現(xiàn)沒有？”

    “是我把問題想簡單了！”劉林沉思了幾秒，最后無奈的開口道：“HCC屏幕比我想象中心困難得多，不管是材料問題，還是加工工藝！”

    “現(xiàn)在我們就是在基礎加工工藝上就給卡住了，我那微電子加工工藝也是因為材料問題，備卡得動彈不得，現(xiàn)在HCC屏幕一系統(tǒng)技術，現(xiàn)在沒有任何配套，所有技術基礎設備都是由我們自己研發(fā)！”

    “我們是一個公司，想把整個系統(tǒng)技術啃下來，那是非常困難的事，你們現(xiàn)在也看到了，單單一個組合件，就把我們難住了！”

    “現(xiàn)在才剛開始，就有這樣的難題，后面誰知道還有多少類似的技術難題。”劉林用手使勁的揉了揉臉，讓自己清醒點道！

    “老板那我們現(xiàn)在怎么辦？”吳燦把手中的配件放下，思考了下道：“我想問題不是出在我們材料上，而是出我們的設備上，RDD離子激光儀的詳細資料我仔細看不下五次。”

    “雖然上面的精度，按道理來說，我們超級加工中心是可以達到，但是加工中間肯定不可能達到理想的精度，更別說幾十外配件組在一起了！”

    “所以我認為就是設備把我們卡住了，這些配件應該是有致命缺陷的，但我們的測量儀器根本就測量不出來，所以我們覺得是合格的，這是唯一的解釋了！”

    “你沒說錯，應該是這個問題了，所以......”

    “這就說明我們的設備還達不到要求，或者我們缺了什么發(fā)現(xiàn)問題的設備。”劉林深深的吸了一口氣，站了起看了幾人一眼，又接著道：“HCC屏幕的研發(fā)，就先暫停！”

    “現(xiàn)在你們優(yōu)先把超算中心，跟冶煉實驗室建起來再說，設備我再想想辦法，后面再慢慢一個個問題解決，之前是我心急了！”

    “這是整個加工層次問題了。”劉林最后無奈的承認自己的失敗。

    “老板！”吳燦聽到劉林的話，開口問道：“也午我們可以換個角度看待這問題。”

    “......”劉林把目光，看向吳燦。

    就在劉林等人為了組合件掉光發(fā)的時候！

    周穎已經(jīng)從總公司帶著專家團，向上海浦東組裝中心飛去！
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