第(1/3)頁(yè) 什么情況...... 現(xiàn)在對(duì)著圖紙，依葫蘆畫(huà)瓢都搞不這定，郁悶了？ 劉林感覺(jué)到一陣無(wú)力感，所有技術(shù)參數(shù)都是現(xiàn)成的，也有著詳細(xì)的加工數(shù)據(jù)，又不是說(shuō)加工設(shè)備不行，超級(jí)加工中心的精度要比圖紙高出幾倍。 現(xiàn)在對(duì)著數(shù)據(jù)照抄啊，大哥，這樣都搞定？ 到底哪里出問(wèn)題了？ 劉林揉了揉腦袋，靠在椅子上不停的思索著，這個(gè)致命缺陷，哪里出在哪？ 要知道技術(shù)攻關(guān)小組成立已有差不多一個(gè)星期了，要人給人，要設(shè)備給設(shè)備，總公司那邊不管要什么，都以最快的速度送過(guò)來(lái)！ 甚至準(zhǔn)備加入劉林組的羅小文，也被拉進(jìn)了這個(gè)臨時(shí)攻關(guān)小組，最后就連劉林也參與了進(jìn)來(lái)，而結(jié)果呢，唉......。 這段時(shí)間，劉苛他們?cè)嚵艘淮斡忠淮危Y(jié)果就沒(méi)不如人意，要知道劉苛等人，隨便拉一個(gè)出來(lái)，都不比華國(guó)拿著特殊曾貼的院士差。 現(xiàn)在四人又加上劉林，整個(gè)玖安科技的技術(shù)大拿都參與進(jìn)去了，從開(kāi)始充滿(mǎn)希望后現(xiàn)在，已經(jīng)充滿(mǎn)了絕望。 高科技研究就是個(gè)無(wú)底洞，這句話(huà)，在此時(shí)被劉林等人表示的淋漓盡致。 只是短短一幾天時(shí)間內(nèi)，劉苛帶領(lǐng)的臨時(shí)攻關(guān)小組，材料，設(shè)備等等，已經(jīng)花掉了接近2千萬(wàn)。 花掉就花掉了，但問(wèn)題是，現(xiàn)在沒(méi)解決問(wèn)題啊！ 這些錢(qián)等于打水漂了，如果按這樣敗下去，別說(shuō)玖科技，就算國(guó)家來(lái)了，也扛不住啊。 失敗之后，就是找出問(wèn)題同總結(jié)經(jīng)驗(yàn)。 但，現(xiàn)在問(wèn)題出在哪都不知道，還解決毛問(wèn)題。 這只是等離子刻蝕機(jī)其中一個(gè)技術(shù)難點(diǎn)，像這樣同等難度的問(wèn)題RDD離子激光儀，還有好十幾個(gè)呢，這只是RDD離子激光儀的問(wèn)題，還沒(méi)算難度便大的，等離子刻蝕機(jī)和浮動(dòng)光刻機(jī)呢！ 劉林想了想，伸手把放在桌子上的RDD離子激光儀的料資拿了起來(lái)。 RDD離子激光儀，又叫等PDD激光平面刻印儀，是工業(yè)微電子中非常常用的加工設(shè)備。 RDD離子激光儀，是干法刻蝕中最常見(jiàn)的一種形式，其原理是暴露在電子區(qū)域的氣體形成等離子體，由此產(chǎn)生的電離氣體和釋放高能電子組成的氣體，從而形成了等離子或離子，電離氣體原子通過(guò)電場(chǎng)加速時(shí)，會(huì)釋放足夠的力量與表面驅(qū)逐力緊緊粘合材料或蝕刻表面。 某種程度來(lái)講，等離子清洗實(shí)質(zhì)上是等離子體刻蝕的一種較輕微的情況。 進(jìn)行干式蝕刻工藝的設(shè)備包括反應(yīng)室、電源、真空部分，工件送入被真空泵抽空的反應(yīng)室，氣體被導(dǎo)入并與等離子體進(jìn)行交換，等離子體在工件表面發(fā)生反應(yīng)，反應(yīng)的揮發(fā)性副產(chǎn)物被真空泵抽走。 RDD離子激光儀實(shí)際上便是一種反應(yīng)性等離子工藝，反應(yīng)性激光體（RIE），順流激光體（DS），直接激光體（DP）。 感應(yīng)激光體刻蝕法（EDRT）是化學(xué)過(guò)程和物理過(guò)程共同作用的結(jié)果。 它的基本原理是在真空低氣壓下，ED 射頻電源產(chǎn)生的射頻輸出到環(huán)形耦合線(xiàn)圈，以一定比例的混合刻蝕氣體經(jīng)耦合輝光放電，產(chǎn)生高密度的激光，在下電極的RT 射頻作用下，這些等激光對(duì)基片表面進(jìn)行轟擊，基片圖形區(qū)域的半導(dǎo)體材料的化學(xué)鍵被打斷，與刻蝕氣體生成揮發(fā)性物質(zhì)，以氣體形式脫離基片，從真空管路被抽走。 劉林看了看，把眉頭都皺成一團(tuán)，之前因?yàn)榫痛蟾诺膾吡藘裳郏瑳](méi)詳細(xì)看，結(jié)于其難度可以說(shuō)是很模糊，畢竟全部資料都是現(xiàn)成的，不需要設(shè)計(jì)，也不需要研發(fā)，跟著圖紙制造出來(lái)就行了！ 看來(lái)是自己想簡(jiǎn)單了！ 劉林用手揉了揉，感覺(jué)發(fā)痛的太陽(yáng)穴，吐了一口濁氣，把資料往下翻！ 劉苛等人看到劉林認(rèn)真的在翻資料，便對(duì)著桌觀上的配件再一次仔細(xì)觀察，希望能找到問(wèn)題出在哪。 ED 設(shè)備主要包括預(yù)真空室、刻蝕腔、供氣系統(tǒng)和真空系統(tǒng)四部分。 預(yù)真空室：預(yù)真空室的作用是確保刻蝕腔內(nèi)維持在設(shè)定的真空度，不受外界環(huán)境（如：粉塵、水汽）的影響，將危險(xiǎn)性氣體與潔凈廠房隔離開(kāi)來(lái)，它由蓋板、機(jī)械手、傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、隔離門(mén)等組成。 第(1/3)頁(yè)