第(3/3)頁 無意淘來的48納米duv光刻機(jī)，在這個(gè)時(shí)候派上用場(chǎng)，還能生產(chǎn)14納米芯片，今晚最大受益人除了陳星就是他陳永了。 因?yàn)橐娮C過28納米的開天基帶芯片生產(chǎn)，現(xiàn)在的48納米光刻機(jī)在他眼里可是香餑餑，為此他這段時(shí)間也在想盡辦法去淘光刻機(jī)，為國產(chǎn)聯(lián)盟做貢獻(xiàn)。 “那就走吧?！? 林天率先移開腳步。 這幾天為了教藍(lán)綠廠工程師，他可謂是煞費(fèi)苦心，都把這里當(dāng)成自己家了。 好在，有一批人悟道了。 …… 當(dāng)陳星馮承銘等人走進(jìn)工廠，林天輕車熟路地將眾人領(lǐng)到了換衣室更換防塵服。 穿戴整齊，確保沒有紕漏以后，他們帶著清潔過后的皮箱走進(jìn)了光刻機(jī)的潔凈室。 “老總們好！” “林首席好！” 藍(lán)綠廠的光刻工程師們?cè)缭绲群颍麄冊(cè)缇椭?，今晚?huì)有大人物到來。 “不用客氣了?！标愑罃[了擺手，看向林天道：“林首席你看現(xiàn)在該怎么弄？” 林天沒有急著回答他，而是看向陳星，征求同意道：“總裁，那我可要開始了？” 四塊光掩膜版的多重曝光技術(shù)，如果一旦演示完成，很有可能讓其他工程師學(xué)了去，他才會(huì)特意征求同意。 要是陳星搖頭示意，他是可以留一手的。 然而陳星覺得沒這必要，未來肯定還是要靠龍芯國際、藍(lán)綠廠幫忙量產(chǎn)芯片的，多重曝光技術(shù)也算是讓他們嘗些甜頭，鞏固彼此之間的利益了。 “開始吧?！? 陳星淡淡回應(yīng)。 隨著陳星點(diǎn)頭，林天開始了他的光刻獨(dú)秀。 利索打開馮承銘帶來的皮箱，露出里面的四塊光掩膜版。 因?yàn)榭紤]到表面有灰塵，生產(chǎn)前的第一步就需要清洗，緊接著才是區(qū)分光掩膜版型號(hào)。 四塊光掩膜版不比兩塊的，它需要區(qū)分好順序，不能出錯(cuò)，出錯(cuò)就相當(dāng)于毀壞了一張硅片。 龍芯國際也沒馬虎，四塊掩膜版都按照林天當(dāng)初的要求，標(biāo)注上的光刻序號(hào)。 當(dāng)生產(chǎn)設(shè)備都調(diào)試完成，林天大手一揮道：“準(zhǔn)備生產(chǎn)，硅片清洗烘干涂膠。” 不等藍(lán)綠廠的工程師行動(dòng)，馮承銘親自拿硅片去清洗，并放入烘干的運(yùn)送設(shè)備。 林天則是安裝掩膜版，數(shù)次校準(zhǔn)以后，他講解道：“第一塊光掩膜版可以隨意放，因?yàn)樗堑鼗蟮娜龎K光掩膜版，必須要做到每一步都要在預(yù)定精度范圍，1納米誤差都不行?！? “明白了?！? “明白了?！? 周圍工程師紛紛應(yīng)答。 在眾人圍觀下，林天開始啟動(dòng)光刻機(jī)，進(jìn)行第一次的曝光，在硅片上作畫圖案。 第一次曝光結(jié)束。 取出硅片蝕刻清洗，緊接著是第二次涂抹光刻膠，林天用上了第二臺(tái)光刻機(jī)。 第二次曝光很明顯，他比第一次專注了許多。 “第二次光刻不能用任何偏差，曝光的圖案應(yīng)該在第一次圖案納米圖案的中間位置?！? “這就好比一條主干道，第一次我們是修了這個(gè)主干道，第二次就是在這個(gè)主干道的中間畫上一條兩邊對(duì)稱的線?！? 沒有技巧，全憑經(jīng)驗(yàn)。 林天啟動(dòng)光刻機(jī)，進(jìn)行第二次的曝光，讓光刻膠疲軟，緊接著繼續(xù)用蝕刻溶劑清洗。 每次曝光、蝕刻都會(huì)在半導(dǎo)體硅片留下圖案，一連四次的曝光讓馮承銘等工程師看得目瞪口呆。 最后一次時(shí)，林天繼續(xù)講解道：“第四次曝光，不僅要進(jìn)行光刻，還要進(jìn)行離子注入，增加電導(dǎo)性，說白了，就是你們之前學(xué)的單次芯片生產(chǎn)步驟?！? “但重點(diǎn)是，我第三步是先刻畫道路的左邊，第四步，則是要刻畫道路的右邊，這樣一來，完整的電路圖案就顯現(xiàn)了?！? 簡(jiǎn)單講述后，他不斷用設(shè)備調(diào)整光掩膜版，當(dāng)達(dá)到預(yù)定位置時(shí)，他再次啟動(dòng)光刻機(jī)。 光刻機(jī)在接收到啟動(dòng)指令后，立即就對(duì)12寸半導(dǎo)體，接近三百個(gè)芯片裸片進(jìn)行曝光。 五分鐘后。 半導(dǎo)體硅片被取出。 此刻所有人大氣不敢喘，馮承銘接過硅片以后，親自去切割檢測(cè)參數(shù)性能。 當(dāng)檢測(cè)儀器顯示，該裸片的納米等級(jí)是14納米，并且電路圖完美運(yùn)行那刻，他強(qiáng)壓心中的激動(dòng)，鄭重宣布道： “成了！” “soc上帝芯片成了！！！” 感謝讀者大佬們的月票和推薦票，感謝讀者2022…0433大佬的打賞，還有感謝各位讀者大佬的每日追讀。 咳咳，剛才復(fù)制章節(jié)錯(cuò)了，現(xiàn)在改回來了，抱歉。 (本章完) epzww.com 3366xs.com 80wx.com xsxs.cc yjxs.cc 3jwx.com 8pzw.com xiaohongshu.cc kanshuba.cc hmxsw.com 7cct.com biquhe.com 第(3/3)頁