第(2/3)頁 “我…” 楊烈接過筆記本，眼神閃過抹感激之色。 他并不善言語，在連接被鼓舞和激勵(lì)后，他重重點(diǎn)頭道：“謝謝總裁信任，謝謝各位信任，我重新計(jì)算再試一次。” “去吧。” 陳星并沒有責(zé)怪的意思。 半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)本身就難，如果這么輕易就解決，那就不需要100%依賴進(jìn)口了，這是國產(chǎn)必須要經(jīng)歷的過程。 翟勇這時(shí)也站出來，提高數(shù)倍音量道：“石英坩堝重新加熱到1450攝氏度保持，等待楊工程師計(jì)算出下次提拉速度。” “石英坩堝重新加熱，已設(shè)定1450攝氏度保持！” “溫度正在上升！” 設(shè)備操控員重復(fù)說道，確認(rèn)數(shù)值沒有出錯(cuò)。 而在另一邊。 工廠的某間辦公室內(nèi)。 楊烈來到辦公桌坐下，翻看滬硅集團(tuán)失敗的案例，并開始總結(jié)這次失敗的經(jīng)驗(yàn)。 想拉大尺寸硅棒，需要計(jì)算提拉速度、硅溶液、母晶與輻射熱量。 先說提拉速度，單晶硅棒為什么可以提拉出來。 這是因?yàn)槟妇В簿褪蔷ХN放入硅溶液以后，硅溶液里的硅晶體會(huì)附著在晶種上。 當(dāng)它們附著時(shí)緩慢拉出，因?yàn)橐后w表面的溫度下降，會(huì)由液態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)楣虘B(tài)。 這個(gè)現(xiàn)象就好比在極寒地區(qū)，屋內(nèi)是23攝氏度，而外面是零下二十幾度，當(dāng)你拿著水槍往屋外噴水時(shí)，噴射的水柱接觸到外面的冷空氣會(huì)瞬間凝結(jié)成冰。 單晶硅棒的提拉法，操作原理亦是如此。 至于想要拉多大尺寸，則是取決于拉升速度和旋轉(zhuǎn)速度。 旋轉(zhuǎn)讓四周硅晶體附著，拉升則是讓附著的硅晶體冷卻，期間還要多次調(diào)試?yán)俣龋蝗缓罄m(xù)會(huì)越發(fā)臃腫。 但楊烈仔細(xì)算過了，兩小時(shí)后才需要調(diào)整提拉速度，這才一小時(shí)不到的時(shí)間，為什么母晶會(huì)斷，附著太多硅晶體了？ 他總結(jié)經(jīng)驗(yàn)的同時(shí)，不斷翻看滬硅集團(tuán)的失敗總結(jié)，可接連幾次的計(jì)算，得出的結(jié)果還是提拉速度為每分鐘3毫米。 “難道是提拉速度太慢了，調(diào)整到4毫米試試？” 楊烈繼續(xù)計(jì)算。 他覺得是提拉速度太慢了，導(dǎo)致晶種附著的單晶硅太多，從而拉崩斷了母晶。 提拉速度上升的話，附著的單晶硅就會(huì)減少。 想到這。 他連忙返回作業(yè)區(qū)域。 而陳星見楊烈這么快回來，立即詢問道：“已經(jīng)找到解決方案了？” “暫時(shí)不確定是不是提拉速度的問題，還需要進(jìn)一步實(shí)驗(yàn)。” 楊烈快速回答道。 他現(xiàn)在腦子很亂，有些懷疑自己的技術(shù)。 在他數(shù)次計(jì)算下，每分鐘提拉速度是3毫米，可偏偏3毫米又把晶種給拉斷。 目前他猜測三種情況。 一、提拉速度太慢，導(dǎo)致晶體附著過多，超出了原本的14寸，可能達(dá)到了20寸以上，晶種才會(huì)承受不住壓力斷開。 二、晶種純度不夠，雜質(zhì)破壞了單晶硅面，硅晶體附著時(shí)，出現(xiàn)了空隙。 三、設(shè)備問題。 后兩種情況，楊烈相信魏華韓銘的硅石提煉技術(shù)，也相信愿意陳星帶來的設(shè)備沒問題，所以他并沒有去懷疑，而是認(rèn)為自己可能是初次計(jì)算錯(cuò)誤。 可六個(gè)小時(shí)后，石英坩堝爐確實(shí)提起來了一根單晶硅棒，直徑卻只有10寸，如果算上拋光打磨，最終只能作出8寸半導(dǎo)體硅片。 “為什么會(huì)這樣？” 楊烈摸不著頭腦，他又指揮下一次的提拉單晶硅棒，重新把速度調(diào)回3毫米每分鐘。 然而… 又是一小時(shí)不到。 “嘣——” 晶種連接處再次斷裂，提拉出來的單晶硅重重砸進(jìn)硅溶液，發(fā)出一聲悶響。 熔煉。 提拉。 崩斷。 楊烈嘗試了數(shù)次，陳星也沒有離開硅工廠，而是與硅片工程師們同吃同住。 在經(jīng)歷了數(shù)次參數(shù)調(diào)整，時(shí)間也過去了三天，楊烈胡渣邋遢，還在計(jì)算哪里不對，這位老實(shí)人根本沒去想機(jī)器和純度的問題。 提純?nèi)瞬彭n銘看不下去，也試著幫忙尋找問題。 當(dāng)他拿著單晶硅碎塊去檢測，瞳孔猛然收縮，立馬吆喝道： “有問題！提純出問題了！單晶硅純度僅為99.9999%，6n，這是工業(yè)級(jí)，不是半導(dǎo)體級(jí)別！” 聲音傳遍工廠，讓負(fù)責(zé)提純的魏華都愣住了。 6n？ 怎么可能！ 當(dāng)初他們已經(jīng)測過了，明明是11n的純度！ 多晶硅11n，單晶硅怎么可能是6n，這里面就一個(gè)熔煉提拉，除非摻雜出現(xiàn)了錯(cuò)誤？ 負(fù)責(zé)摻雜的翟勇更是懵逼，他也沒摻雜雜質(zhì)啊，他摻雜的是磷，增加硅片導(dǎo)電性的磷！ 陳星也聽見了韓銘的吆喝，立馬將他喊住道：“韓工，到底是怎么回事？不是說11n多晶硅熔煉提拉就會(huì)得到單晶硅嗎？” “我也不清楚，但我上檢測設(shè)備檢測了，單晶硅里面雜質(zhì)，鐵鋁等雜質(zhì)顏值超標(biāo)，完全達(dá)不到11n的標(biāo)準(zhǔn)！” 第(2/3)頁