第(2/3)頁 “別說百分百的把握，哪怕只有一點把握都值得我們去嘗試。”羅長輝這時候情緒也平靜了下來，接過話茬開口補充了句。 光電技術研究所很早就開始研發光刻機，奈何相比海外始終落后大截。 根本不具備制造高端芯片的能力。 其中對光源的研究更是有局限，很難提升光源的功率并且保證穩定輸出。 絲毫不夸張的講，若不是有徐昀加入項目組，就憑氟化氙光源都要讓他們研究許久。 畢竟能制造出氟化氙光源沒啥厲害的，關鍵要能保證功率和持續性的穩定輸出。 無法保證光源穩定的話，功率最大值哪怕再大都無法用于極紫外光刻機。 單憑這點便足以證明徐昀的實力。 但要說會議室內此刻誰的情緒波動最大，那肯定屬劉星和另外幾位博士后研究員助理。 就差把心里想法寫到臉上。 因為徐昀并沒有把方案復制太多份，剛才也就只有羅長輝等幾位研究員看到。 突然看見包括羅長輝在內的研究員在看完文件后都是這么個反應，他們心里難免會感到非常好奇，尤其后面聽到和光源有關，情緒波動的更加激烈知道這絕對是個大消息。 最終只見劉星率先按耐不住，投過視線主動向徐昀詢問起來。 “那個徐教授，這份方案我們可以看嗎？” 徐昀自然沒有忘記他們這些研究員助理，既然都屬于項目組成員肯定有知情權。 再說大家一起努力才能加快進度。 本來他是打算會議結束后在讓各研究員去說，既然都那么期待提前也沒關系。 念頭停留在這里徐昀并沒有遲疑什么，當即拿起自己面前的方案遞了過去：“你們現在想看那就看吧。” “謝謝徐教授。” 劉星并沒有在這種時候選擇推辭，聞言連忙走上前接過文件和身邊人分享。 能進入到光學技術研究所博士后流動站，劉星等人可不見得有多么差勁，和楊靖等研究員相比無非是經驗和資歷上的差距。 對于文件中的內容自然會有自己的判斷，知道是否具備實驗價值。 可能是找到光源研究方向心情比較高興緣故，羅長輝楊靖等研究員并沒有表現出不耐煩，而是耐心等待劉星和其他博士后大致看完文件。 不知過去多久，劉星率先回過神來，把文件遞給身旁的人后立刻看向徐昀。 目光中滿是敬佩和激動。 “徐教授您太厲害了，沒想到那么快就有了氟化氙光源的制作方法?！? 話音剛落，其余人也不甘示弱紛紛開口。 “沒想到還可以用這種方法來解決氟化氙光源的制造難度問題，我以前竟然沒有任何這方面的想法?！? “有了這份方案，我們是不是很快就能制造出穩定的光源。” “我已經迫不及待想參與實驗了?！? 而這時沒等徐昀開口回答，坐在旁邊的羅長輝主動出聲講道：“現在可還不是我們值得慶祝的時候，起碼要得到詳細的氟化氙測試結果才行，接下來大家先暫時停止手上的事情，全力制造氟化氙光源裝置?！蹦芸闯鏊麄€人的激情已經被調動出來。 羅長輝所說的事情正是徐昀接下來的安排，因此便順著補充了句。 “那么今天的會議就到這里，接下來的時間我想大家應該要有的忙了。” 說完會議也正式結束。 今天把項目成員都喊過來參加會議，主要是商議氟化氙光源制造方案的事，眼下方案已經集體通過，那自然沒必要繼續浪費時間。 何況相信大家經過剛才的事情后，都已經迫不及待想動手了。 畢竟自己能參與到國產首臺極紫外光刻機誕生可是件充滿榮耀的事。 當然實際情況也正是如此。 會議結束后在徐昀的帶領下，大家都被安排任務。 立刻著手氟化氙光源的制造。 —— 和從零開始制造氟化氙不同，前者需要不斷試錯承擔功率較小或者無法長時間保持穩定輸出的結果，這個過程除了需要大量投入外，還非常浪費時間并且最終得不到任何結果都正常。 但徐昀他們完全不同。 有那份設計方案作為依靠，這就相當于開卷考試。 他們進行的過程就是把答案抄在試卷上，基本不需要費太多精力。 加上還有徐昀親自參與，幾乎是在六月底的時候研究所成功制造出一個氟化氙光源裝置。 并且為確定是否能用于高端光刻機，當天便對光源的波長功率穩定性等進行了測試。 “雖然我覺得這次我們肯定能成功，但不知怎么心里還是有些緊張?！? 2020年6月22日，錦城，光電技術研究所極紫外光刻機項目。 光源測試實驗室外面，穿著白色研究服的楊靖來回邁著步伐顯得有些不安，盡管表面上故作鎮定，但臉上隱藏不了的小表情還是把真實感受暴露。 這段時間在參與了光源的制造后，他更加堅信徐昀方案的可行性。 認為極紫外光刻機的光源問題已經解決。 可眼看最終的光源測試結果就要出來，心里多少還是有些忐忑。 相比坐不住的楊靖，羅長輝明顯鎮定許多，坐在旁邊椅子上還不忘打開杯子喝茶。 “把心態放平和，既然選擇了相信徐教授，那就耐心等待結果。” “我這不是害怕嘛?！睏罹嘎牭搅_長輝這話有些不好意思。 第(2/3)頁