第(1/3)頁 整機被江成整飭得非常不錯,一些小問題,都解決了,就是外觀,也有封裝板,整的有點像高科技光刻機一樣了。 就是那種一看,就覺得這東西高端,不是隨隨便便整出來的。 當然,實驗的結果也非常不錯,在江成帶領大伙繼續優化調整,特別是把每一個步驟應當以什么速率,運行多少時間等工藝進行優化后,總體光刻成效是不錯的。 而且通過實驗性質的一次多重曝光,最終工藝最小節點達到了32nm。 白春華是華科院院長,對這一塊還是有了解的,在親自查看了測量參數后,雙手激動的不得了,“是真的,我們的光刻機真的突破了,28nm的工藝,就在眼前!” 通過浸沒系統,把193nm的激光波長整到了132nm,一次曝光就可以達到最小工藝45nm! 在經過多重曝光技術,就可以挺進32nm,28nm的制程。 易國彬也是抬著大拇指給了江成,“我就知道,你小子入主魔都微,一定能夠給我們一個驚喜的,沒想到這么快就看到了!” 一旁的賀明老臉一紅,“易部長,您說得對,江董在光刻機領域的研究,真的是華國獨一人,這一塊,我是極為敬佩的!” 易國彬點點頭,“行了,知道你這一次沒給研發添亂,今后還是好好配合好江董吧。” “明白的。”賀明應了聲。 現如今,江成整出了浸沒式光刻機,他在魔都微的地位更加牢固了。 那些股東們,怎么可能會把江成換掉? 唉,算了,做個執行者也是不錯的。 江成微微笑著,“這里還是太壓抑了,白院長、易部長,咱們回會議室吧。” “嗯。”兩人帶著笑容點點頭。 隨后,又和這些研發工程師們一一握手,表達了感謝。 這才一同換去了實驗服,到了魔都微的董事會會議室。 “江董,現在來看,達到28nm的工藝,難不難?”易國彬先問了一句,他畢竟不是專業的,雖然了解一些,但目前看到的是實現了32nm工藝。 江成解釋道,“從45nm工藝到28nm,需要fab工廠工程師這邊共同提升工藝水平,通過多重曝光的技術來實現。這個技術,實現難度不大。” “那就好。”易國彬有些放心了。“現如今,互聯網上已經傳開了,咱們研發出來了28nm的國產光刻機,廣大網民翹首以盼,我們不能讓他們失望啊!” 第(1/3)頁