第(2/3)頁 這芥子掃描顯微鏡,無論從最初的理論設計,再到中間關鍵技術的解決,都是陳陽在指導。 按照當前研究的通用規則,這個知識產權全部都應該歸屬陳陽所有。 最終陳陽答應了司徒靜。 “那我就卻之不恭了!不過,以后若是有什么事情,還請你來去完成。比如領獎,研究合作什么的。” “好。您放心,只要不是不能解決的問題,保證不會去打擾您。”司徒靜說道。 送走了司徒靜! 陳陽回到辦公室,再次看著手中的圖紙! 薄膜機,光刻機,蝕刻機! 薄膜機相對技術含量較低,已經被突破,蝕刻機這次也已經全部突破,現在,就剩下光刻機了了! “晶圓,光刻膠,掩膜器,凈化系統……” 看著這一個個難點,像是一個個釘子,目前剩下的問題不多了,只要再拔掉這幾個,就可以很順利的解決光刻機問題!有了這芥子掃描顯微鏡,絕對會事半功倍! …… 與此同時,整個eva聯盟,都收到了龍國已經突破刻蝕機的消息! “怎么回事?之前不是說他們至少要三年之后才能突破嗎?為什么這么快?是不是竊取了咱們的專利技術?”米國euv聯盟委員會主席史蒂芬對著在場的眾人問道。 “目前還沒有消息出來。他們沒有申請專利,而且,從我們這邊得到的數據來看,并沒有觸犯咱們的相關專利。” “沒有侵犯?難道他們完全走出了另外一套蝕刻機技術?” “雖然不愿意承認,但是,確實從里到外,完全是自主研發的。而且,速度,效率,良品率,都比現在的要高出很多!”山野正雄垂頭喪氣的說道。 第(2/3)頁