第(1/3)頁(yè) 蘇哲看著驚呼的眾人,臉上露出了笑容。 此時(shí)此刻,牛光輝和司文博兩人也是異常的興奮。 兩人看著大屏幕上兩組加工鏡片的檢測(cè)數(shù)據(jù),知道這次是穩(wěn)了。 “不錯(cuò)不錯(cuò)!這樣的結(jié)果才是我愿意看到的,這下大家也不用猜了,都能安心了。”牛光輝笑著說(shuō)。 “的確!兩組能有這樣的檢測(cè)數(shù)據(jù),說(shuō)明了dyn-離子束拋光技術(shù)的穩(wěn)定性。”司文博肯定的說(shuō),“老牛!要是你們搞的等離子體euv光源突破了就好了,那我們?cè)斐鰜?lái)的euv光刻機(jī)就有競(jìng)爭(zhēng)力了。” “我也想啊!我們研究團(tuán)隊(duì)……”牛光輝還沒(méi)說(shuō)完,站在臺(tái)上的包正義拿著話筒又喊了起來(lái)。 “各位注意了,這兩組的檢測(cè)的結(jié)果還有提升空間,dyn-離子束拋光技術(shù)在理論上,鏡面精度能夠達(dá)到0.06納米的面型精度峰谷值和10皮米的表面粗糙度。” “有了dyn-離子束拋光技術(shù),我們就能進(jìn)軍高端光學(xué)鏡頭市場(chǎng)了,最典型的就是euv光學(xué)鏡頭,最為……” 蘇哲聽(tīng)了一會(huì)兒,發(fā)現(xiàn)和范曉明說(shuō)的一樣,開(kāi)始展望未來(lái)了。 牛光輝和司文博兩人笑了笑。 “老牛!我們繼續(xù)。”司文博笑著說(shuō)。 “好!”牛光輝繼續(xù)說(shuō)等離子體euv光源的問(wèn)題。 蘇哲一邊聽(tīng)著,一邊在腦中快速的計(jì)算著。 牛光輝相關(guān)的參數(shù)說(shuō)的很詳細(xì),也點(diǎn)出了問(wèn)題的所在,及錫滴在大功率波長(zhǎng)10.6微米紅外光的照射下會(huì)出現(xiàn)不穩(wěn),導(dǎo)致的結(jié)果是無(wú)法獲得波長(zhǎng)13.5納米的紫外光。 聽(tīng)完這些,蘇哲沒(méi)在聽(tīng)牛光輝和司文博兩人的討論了,自顧自的在大腦中計(jì)算起來(lái)。 說(shuō)來(lái)也巧,這等離子體euv光源產(chǎn)生的原理和他研究的zgz-原子振動(dòng)模型有點(diǎn)關(guān)系。 他們大的框架是一樣的,及原子在特定的狀態(tài)下吸收了特定波長(zhǎng)的電磁波,從而釋放了波長(zhǎng)特定的電磁波。 相對(duì)來(lái)說(shuō),zgz-原子振動(dòng)模型是個(gè)特列。 蘇哲有了搭建zgz-原子振動(dòng)模型的經(jīng)驗(yàn),計(jì)算euv光刻機(jī)使用的euv光源的速度要快的多。 先是計(jì)算出錫原子的狀態(tài)信息,接著是計(jì)算錫原子在吸收波長(zhǎng)10.6微米紅外光后的反應(yīng)…… 第(1/3)頁(yè)