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    “希望這次正義是真的突破了，不是大烏龍，畢竟國內(nèi)等高端光學(xué)鏡頭等的太久了，等euv光刻機太久了，等高端芯片太久了?！蓖跣摭R看著牛光輝的背影，嘀咕著。

    ……

    燕京，清大食堂。

    司文博正吃著午飯，心中考慮著如何降低同步輻射euv光源的能量消耗。

    同步輻射作為euv光刻機光源的一種實現(xiàn)方案，他把路子走通了，可缺點太明顯了。

    太耗能了。

    如果國內(nèi)euv光刻機光源采用他們團隊搞出來的同步輻射euv光源，和國外相比，同樣的芯片，能耗是對方的二十倍，這樣的結(jié)果是他不能接受的。

    他想了很多方案，唯一靠譜的是能量的回收，可加入能量回收系統(tǒng)后，整個euv光源系統(tǒng)將會變得極其復(fù)雜，最為關(guān)鍵的是，目前的能量回收系統(tǒng)只能回收百分之十的能量，這無法達到他的心理預(yù)期。

    正想的時候，他手機響了，拿出來一看，是校長辦公室給他發(fā)的郵件。

    內(nèi)容是讓他參加上嶺大學(xué)光學(xué)鏡頭研究中心的技術(shù)報告會。

    看了光學(xué)鏡頭研究中心發(fā)的邀請函后，他不淡定了。

    “這……這不會是烏龍吧！包正義他們第六次測試剛失敗，這才幾天，就突破了離子束拋光技術(shù)，這加工精度，比歐羅巴的蔡斯都強……不行，現(xiàn)在就買機票，我倒要看看是不是真的突破了。”司文博嘀咕著。

    他隨便吃了幾口，把餐盤送到了回收區(qū)，就急匆匆的離開了食堂。

    ……

    申城大江區(qū)申城微電子無塵工廠。

    申城微電子總工程師潘飛鵬穿著無塵服，帶著口罩和護目鏡站在一臺設(shè)備的顯示屏前。

    “不錯！不錯！這雙工件臺各種參數(shù)都可以了，上午就到這吧！大家準(zhǔn)備去吃飯！”潘飛鵬看著顯示屏上的參數(shù)，對著周圍工程師們喊。

    “吃飯了！”工程師們歡呼后陸陸續(xù)續(xù)的離開了。

    現(xiàn)場就剩下潘飛鵬和他的助理柳天昊。

    “euv光刻機啊！三大難題，雙工件臺的問題解決了，euv光源的問題也解決了，就剩下光學(xué)鏡頭了。”潘飛鵬有些失落，“我最看好包正義的研究團隊，可他們的第六次測試也失敗了，也不知道國內(nèi)何時才能造出符合要求的光學(xué)鏡頭?！?

    “總工！清大搞出來的同步輻射euv光源太耗能了，就算我們有了光學(xué)鏡頭，造出了euv光刻機，在國際上也沒有競爭力?！绷礻恢毖浴?

    “小柳！我們目前要解決的是有沒有的問題，等我們有了，能制造了，那怕能耗高，也比現(xiàn)在這樣隨便讓人家拿捏的好，至于競爭力，我們可以慢慢來。”潘飛鵬認(rèn)真的說。
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