第九十一章 芯片與光刻-《我的星河科技王偉》
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“光敏型的聚酰亞胺材料?”
周飛宇心中一動,腦海里立即浮現出有關“中級薄膜技術”中針對超薄、特殊性能的薄膜的一些相關知識。
其中,的確提到可用于光刻膠的一些光敏型聚酰亞胺材料。
光刻膠,顧名思義,用于光刻的一種膠。
所謂光刻,字面意思就是用光去雕刻。
當然,自然界的光,以及各種極紫外線,是無法直接像一把刀一樣去雕刻東西的,只有那種具有超高能量的激光之類,才能用于直接雕刻。
在芯片領域的光刻,是利用某些具有對光線非常敏感特性的膠,均勻涂抹在晶圓上,然后再在膠的表面貼付一層薄膜,這層薄膜被設計成需要的電路圖案。光線從電路圖案中穿過,照射到膠的表面,膠因為對光線敏感于是發生反應,顯露出和電路圖案相同或相反的電路圖案來,那些沒有被光線照射到的地方,自然還是被膠覆蓋著。
然后,將晶圓浸入特制的溶液當中。
如此一來,被膠覆蓋著的地方,晶圓被保護了起來,沒有變化。而那些沒有膠的地方,特制溶液就將晶圓腐蝕了。
腐蝕的痕跡,自然就和電路圖案相同或者相反。
晶圓從特殊溶液中取出,用純凈水一沖,上面就留下了所需要的電路圖案。
所以,與其說是光刻,不如說是蝕刻,腐蝕雕刻,只是這種“腐蝕雕刻”比一般所說的腐蝕雕刻在精度上高了n個等級,不可同日而語,所以起了個比較高大上的名字“光刻”。
大致原理如此,但知易行難。
一個小小的芯片,集成的電路宛若一個小型的世界,這里面的精度以納米計算。
只是輔助生產用的光刻膠,它所限制的厚度也都是以納米來計算。
譬如20納米制程的芯片制造,需要的光刻膠厚度就不能超過100個納米,更為先進的3-10納米制程芯片,它所需要的光刻膠厚度就可想而知了。
周飛宇暗暗思考了一會,知道以飛揚新材料目前的設備以及制程能力來說,還達不到這種技術,還需要一段時間的發展和擴充。
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