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    光刻機從外頭看上去就是一個鐵皮箱子，僅有的一個觀察窗，在真正進行光刻作業的時候，也看不到任何東西。

    郝莽也只能在光刻機工作的時候，聽到幾聲類似于手機攝像頭打開時的雜音。

    范紅才耳朵幾乎貼在了光刻機上，像是古代的醫生進行著原始聽診一般。

    “滋——”他的耳朵里聽到了電流的雜音。

    “這臺機器使用的是紫外光源，光源用的是冷陰極低壓汞燈。電流音聽起來好像是直流管……”

    隨后，響起了光學模組矯正歸位的“咔咔”聲。

    “一、二、三、四、五……至少有五組光學鏡足，每組鏡組應該至少有兩枚鏡片，鏡片排列應該是盡可能追求對稱的光路……”

    接下來聽到的聲音，就是托著晶圓的托盤電機在工作的聲音了，光源和鏡頭模組的聲音，反倒是穩定了下來。

    范紅才支起來身，他這時才感覺到自己的老腰有些酸疼。

    他沒有著急下判斷，而是等著光刻機工作完成，被加工的晶圓進入清洗和摻雜的工序，他才開口說道。

    “這是一臺使用紫外光源，對稱光路的光刻機。用純紫外光是因為自然光含有光譜波長不同，最后對晶圓上的光刻膠進行投影的時候，會加大誤差。選擇紫外光而不是其它波長的光，是因為紫外光含有的能量是所有光中最大的。”

    “鏡頭模組采用的對稱設計，如果我沒有聽錯的話，每組的鏡片至少有兩個，盡可能增讓紫外光聚焦的同時，又盡量讓它們保持平行，不會產生過多的折射和散射，造成能量的浪費和光刻精度的降低。”
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