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第20章 光刻機(jī)-《開局一座工業(yè)園,造出光刻機(jī)》


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    “哦!”張帆屁顛屁顛的就小跑到了云凌峰身邊,內(nèi)心還是一熱的,他是記者,雖然幫云凌峰說話,但他最重要的還是采訪。

    這一聲,工部尚書盧風(fēng)也注意了過來。

    “天龍邸報(bào)總臺記者,張帆!”云凌峰主動介紹。

    “嗯!”盧風(fēng)點(diǎn)了點(diǎn)頭,便不再關(guān)注。

    可這卻是將身后的隴西郡郡守,兩大城主給羨慕了一番。

    云凌峰親自介紹,雖然工部尚書沒有多說,可就點(diǎn)頭示好,就足夠了。

    走過身份識別通道。

    前方的景象就豁然開朗。

    只見一個超過一千平米的大型寬敞的空間印入眼前。

    就在所有人的注視之下。

    一臺高達(dá)三米,有兩個工作臺,近乎占到一千平米空間一半的位置。

    第一眼看過去,這東西更像是一個方陣矩陣,是一個整體。

    此時工作臺并沒有運(yùn)轉(zhuǎn),組裝平臺也沒有多余的人。

    云凌峰全程參與,瞅著光刻機(jī)只剩下自豪的道:“諸位,這,就是光刻機(jī)!”

    (上圖)

    但就在云凌峰還沒有話音未落。

    跟隨進(jìn)來的科學(xué)院陳院士,半導(dǎo)體徐院士,研究院劉院士,八零八研究院李院士幾人,眼睛都直了。

    如果看到了稀世珍寶一般,越過云凌峰,七個人驚疑不定的杵在了光刻機(jī)前。

    都不敢上前觸摸,深怕自己的臟手玷污了光刻機(jī),只敢遠(yuǎn)遠(yuǎn)的觀看。

    “這,這,這就是1納米光刻機(jī)!”

    “我滴天,有生之年能夠親眼見到1納米光刻機(jī),這輩子,值了!”

    “哈哈哈,我看到了什么,比5納米光刻機(jī)還要精密的透鏡組合系統(tǒng),這究竟是怎么做到的?!?

    “曝光系統(tǒng)可分為照明光學(xué)系統(tǒng)和投影光學(xué)系統(tǒng),簡單來說,就是光源發(fā)出一定波長的光線被吸收后,通過反射鏡形成所需要的光照方式,照在掩膜上。”

    “掩膜同樣可以反射,經(jīng)過反射后光已經(jīng)包含了圖形信息,通過另一組反射鏡投影在晶圓上,實(shí)現(xiàn)曝光!”

    “這應(yīng)該就是傳感器系統(tǒng)了,不過傳感器的數(shù)量,比起5納米光刻機(jī),足足多了三倍?!?

    “云總,我們可以親眼看到加工晶圓嗎?”

    幾個最高規(guī)格院士,無比振奮的回頭目光真摯的盯著云凌峰。

    云凌峰點(diǎn)了點(diǎn)頭,讓幾名技術(shù)人員開啟了光刻機(jī)。

    這需要點(diǎn)時間,需要幾個階段的開啟。

    工部尚書盧風(fēng)也是非常激動的躊躇在地。
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