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    總工程師當(dāng)然不認為康碩真的能夠解決問題，而且實驗室是非常機密的地方，就算是他也沒有權(quán)利隨便就帶人進去參觀。

    這些規(guī)矩康碩當(dāng)然也清楚，他本來也沒指望自己一句話就能讓總工程師深信不疑，畢竟還沒打過交道。

    不過，康碩有的是辦法，他接著說道：“光刻工藝過程中，自動傳輸裝置將晶圓送入光刻機，首先的操作就是掩模與晶圓的預(yù)對準(zhǔn)。

    “隨后視像自動對準(zhǔn)系統(tǒng)啟動，通過工業(yè)相機從光刻機的顯微鏡相機接口獲取含有掩模和晶圓對準(zhǔn)標(biāo)記的圖像，然后計算機圖像處理算法會分別獲取掩模和晶圓的對準(zhǔn)標(biāo)記中心坐標(biāo)。

    “跟著這個標(biāo)記就可以計算出掩模和晶圓對準(zhǔn)標(biāo)記中心坐標(biāo)差，精確控制光刻機掩模臺的移動，經(jīng)過反復(fù)圖像分析和調(diào)節(jié)，最終完成掩模和晶圓自動對準(zhǔn)。”

    “我猜，你們的數(shù)據(jù)就是在這個時候開始走向偏離的，你們每次獲取的坐標(biāo)都各不一樣，對準(zhǔn)系統(tǒng)工作也有一些紊亂，對嗎？”

    康碩笑的十分自信，總工程師那表情簡直就像是大白天見了鬼：“你……你怎么知道？”

    康碩沒有回答他的這個問題，而是接著把光刻機視像自動對準(zhǔn)系統(tǒng)所有的流程全部給他分析了一遍，包括其中最可能出現(xiàn)的問題。

    這個流程可是復(fù)雜的很，從晶圓自動載入開始：

    晶圓自動載入→預(yù)對準(zhǔn)→采集圖像→搜索對準(zhǔn)標(biāo)記→計算坐標(biāo)差→控制掩膜平臺移動對準(zhǔn)→反復(fù)重復(fù)上述過程的粗調(diào)精調(diào)→自動曝光→晶圓移出。

    到晶圓移出結(jié)束。

    這整個過程所有可能出現(xiàn)問題的環(huán)節(jié)，康碩那是一一剖析，聽得總工程師目瞪口呆：

    這完全不符合常理啊，這年輕人真是西州大學(xué)大三的學(xué)生？確定不是阿斯麥的資深工程師？這也太離譜了吧？

    “你是怎么知道這些的？”雖然不該問，但總工程師還是沒忍住，如此問道。

    “也沒什么難的啊，知網(wǎng)里論文一大堆，流程都能查到啊！”

    康碩理所當(dāng)然的說道：“這些流程在腦子里多過幾遍，哪兒有問題那不是一目了然的嗎？”

    “看論文……一目了然……”

    總工程師突然覺得自己這幾十年白活了：論文他也看啊，他不但看，他還寫呢，他寫的論文知網(wǎng)里就有不少！
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