第(2/3)頁 送給他這項技術(shù)的,是來自釘子科技的首席工程師。 而這項技術(shù),在他看來,將有可能徹底解決國產(chǎn)光刻機的制程問題! “天才!這絕對是天才!” “居然能想到用長波激光操控電子束,進(jìn)而在高次諧波上輻射出高強度窄帶寬相干光,以此來縮短波長……” “哈哈哈哈……另辟蹊徑,果然是天才出少年!” “這個叫楊小秋的丫頭,天賦已經(jīng)遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了我們這幫糟老頭子,哈哈哈……” 梁松大聲笑著。 在他看來,楊小秋提出的這項“穩(wěn)態(tài)微聚束”理論簡直是顛覆性的創(chuàng)造!甚至可以徹底改變國際沿用了幾十年的光刻法則! 所謂的穩(wěn)態(tài)微聚束,是指用1064nm級別的波長激光,操控存儲環(huán)內(nèi)的電子束,使電子束環(huán)繞一整圈后形成精細(xì)的微結(jié)構(gòu), 這個結(jié)構(gòu)叫做微聚束。 其原理是利用了電子的光學(xué)相位,能以短于激光波長的精度逐圈關(guān)聯(lián),使得電子可以被穩(wěn)態(tài)的束縛在光線內(nèi)…… 簡單來說,它可以在微結(jié)構(gòu)層面,直接縮短激光的波長! 根據(jù)楊小秋提供的理論數(shù)據(jù),微聚束結(jié)構(gòu)可以將微波的波長縮短5至6個數(shù)量級! 改造后的波長可以覆蓋從太赫茲到極紫外波段,應(yīng)用于實際,完全可以實現(xiàn)大功率、高中頻以及窄相帶寬的輻射波,大大縮短光刻光源的波長! 目前國內(nèi)最先進(jìn)的光刻機是duv-193nm光源,極限曝光的精度是90nm, 而微聚束結(jié)構(gòu),可以將193nm的長波直接變成76nm的短波……以此制造的芯片精度,也將從極限90nm變成10nm! 10nm級別,已經(jīng)是世界第一梯隊了。 它的出現(xiàn),將直接導(dǎo)致紅果等巨頭企業(yè)對國內(nèi)的芯片封鎖不攻自破! 一旦國內(nèi)的光刻機技術(shù),從193nm發(fā)展到100nm以內(nèi),再有這項技術(shù)的加持,到時候甚至可以直接制造出5nm甚至3nm的芯片! 到時候,敵人的芯片就是垃圾! 老子不稀罕,我們自己就有! 梁松的呼吸漸漸急促,整個人都陷入了亢奮狀態(tài)。 如果只是一個理論概念,梁松還不至于這么激動。 楊小秋直接提供了這項技術(shù)所需要的所有參數(shù)和注意事項,甚至就連結(jié)構(gòu)圖示也標(biāo)注的清清楚楚,減少了九成九的彎路。 有了詳細(xì)數(shù)據(jù),以華芯國際的實力,完全可以在短時間內(nèi)將其應(yīng)用于實際生產(chǎn)中! 他苦苦探索大半輩子的東西,居然就這樣輕而易舉的被一個后輩解決了! 梁松的目光劇烈動蕩。 第(2/3)頁