第(2/3)頁 這套光源裝置由直線加速器、增強(qiáng)器、儲(chǔ)存環(huán)、束流引出、光束線、實(shí)驗(yàn)站組成。這套體型無比龐大的實(shí)驗(yàn)裝置能夠產(chǎn)生超過300兆伏的電子束流,被磁鐵強(qiáng)迫進(jìn)入圓形軌道時(shí),這些束團(tuán)以接近光的速度運(yùn)行,依次通過自由電子激光放大器的各個(gè)元件后通過總長18米的波蕩器陣列發(fā)出發(fā)出明亮的極紫外和x射線光,通過光束線輸送到實(shí)驗(yàn)站。 這套裝置并不是專門為光刻機(jī)特別研制的,主要是用來做實(shí)驗(yàn)用的,有了這種比起太陽要亮100億倍的光源的照射,幾乎所有的原子和分子都無處遁形,可以清楚地看到原子分子和和病毒在各種條件下的活動(dòng)情況。 這對(duì)能源、化學(xué)、物理、生物、材料、大氣霧霾、光刻等多個(gè)重要領(lǐng)域研究無疑是增添了一個(gè)無以倫比的工具。 之前國內(nèi)雖然也是建設(shè)了第二代同步輻射光源,不過這個(gè)實(shí)驗(yàn)室的規(guī)模很小,只能滿足國內(nèi)科學(xué)家一小部分的需要。 現(xiàn)階段華興集團(tuán)公司一家公司每年就需要同步輻射光源做大量的實(shí)驗(yàn),國內(nèi)的第二代同步輻射光源根本就滿足不了需求,只能去鷹醬、高盧雞、約翰牛、霓虹國、西班牙、德國這些國家的高能同步輻射大型實(shí)驗(yàn)室做實(shí)驗(yàn)。 這些國家自己國內(nèi)本身就有大量的科研團(tuán)隊(duì)要進(jìn)行實(shí)驗(yàn),華興集團(tuán)公司自然要排隊(duì),而且還要花費(fèi)很多的資金。 于是楊杰也是動(dòng)了自己建設(shè)第三代同步輻射光源大型實(shí)驗(yàn)室的念頭,建設(shè)這樣的實(shí)驗(yàn)室一個(gè)是為了做實(shí)驗(yàn)用,另一個(gè)也是為了極紫外光光刻機(jī)光源的研發(fā)做準(zhǔn)備。 現(xiàn)階段只有鷹醬能源部所屬勞倫斯伯克利國家實(shí)驗(yàn)室在1993年3月建成了世界上紫外線和軟x射線束流最亮的光源和在其能區(qū)內(nèi)世界上第一臺(tái)第三代同步輻射光源。 也正是鷹醬有了這么一套實(shí)驗(yàn)測試工具,讓以前不可能進(jìn)行的研究成為可能。 這套裝置在電磁光譜的遠(yuǎn)紫外和軟x射線區(qū)產(chǎn)生光,波長為10納米米到0.1微米之間,是研究物質(zhì)的良好工具。 這種光源可穿透物質(zhì),跟牙醫(yī)用x射線看你齒齦內(nèi)部一樣,科學(xué)家們利用這種光可以觀察物質(zhì)的內(nèi)部。 第(2/3)頁