“非常好！”楊子光高興地點頭說道，“你們能在這方面跑到所有公司的前面對我們國家具有重大的戰(zhàn)略價值，你們一定要牢牢地占領(lǐng)這個技術(shù)制高點，這樣我們國家才不會被國外卡脖子。” 隨后楊子光也是視察了瑞星科技公司，當(dāng)楊子光見到瑞星科技公司正在測試試驗的第三代高端g1光刻機(jī)。 瑞星科技公司和燕京物化所聯(lián)合研制的氟化氪激光光源去年已經(jīng)變得成熟了，為瑞星科技公司提供了穩(wěn)定可靠的光源。 同時瑞星科技公司也是根據(jù)楊杰的技術(shù)方案開發(fā)出了掩模臺、工件臺位置測量裝置及測量方法，并且申請了國家專利。 這套裝置采用了若干激光干涉儀取代電容傳感器，使水平向和垂直方向的傳感器一致，摸索出了一套獨有的算法，對測量過程中引入對各向測量干涉儀的進(jìn)行了權(quán)重分配，使得對掩模臺位置測量更加精確。 瑞星科技公司通過數(shù)年的艱苦研發(fā)，總算是將工件臺和掩膜臺運動精度控制在了三納米的程度，這一切是瑞星科技公司和機(jī)床研究院和數(shù)個研究所一同攻關(guān)的成果，光是這么一個系統(tǒng)參與的技術(shù)人員就達(dá)到了上千名。 三陽光學(xué)廠在使用了機(jī)床研究院超高精度的磨床后和天馬科技公司提供的研磨液后總算是將這些鍋蓋大小的鏡頭光學(xué)孔徑數(shù)值提升到了1.33，已經(jīng)接近了光學(xué)鏡頭的極限。 德國蔡司能把光學(xué)鏡頭的光學(xué)孔徑數(shù)值已經(jīng)能做到1.4，已經(jīng)逼近了1.49這個極限，三陽光學(xué)廠能做到這個地步已經(jīng)是非常了不起了。 這些鏡片是三陽光學(xué)廠一位有著幾十年鏡頭研磨經(jīng)驗的老技師在超高精度磨床和測量儀器的配合下手工研磨出來的。 雖然這樣的光學(xué)鏡頭產(chǎn)量少，生產(chǎn)時間很長，但是卻是讓三陽光學(xué)廠在光學(xué)鏡頭技術(shù)上邁入了一流的光學(xué)器材廠商行列。 而瑞星科技公司也是為這套光刻機(jī)研發(fā)了減震器，采用了內(nèi)部封閉框架，將工作臺與外部環(huán)境隔離，保持水平，減少外界振動干擾，并維持穩(wěn)定的溫度、壓力。 為了達(dá)到這些要求，瑞星科技公司上下所有人員都是削尖腦袋不停地想辦法解決各種工程技術(shù)上的難題，總算是將雙工件臺的第一臺氟化氪激光光源的沉浸式光刻機(jī)給制造了出來。 這也就意味著瑞星科技公司這套光刻機(jī)可以支持的極限制程工藝在32納米，如果在這個期間三陽光學(xué)廠能將鏡頭的光學(xué)孔徑數(shù)值提高到極限，那么可以支撐制程工藝來到22納米！ 瑞星科技公司并沒有向外界公布這個消息，也是等著明年上半年推出的時候好好地震一下艾斯摩爾和佳能和尼康這些光刻機(jī)廠商的。 “你們還真是有什么寶貝都喜歡藏著不讓人看到呀！”楊子光感慨地說道。 “首長，我們公司內(nèi)部有一套完整的測試試驗流程和標(biāo)準(zhǔn)，我們不希望推出去的光刻機(jī)產(chǎn)品是有缺陷的，瑞星科技公司要保證每一臺交到客戶手上的設(shè)備都是非常可靠的。” “你們在這套光刻機(jī)上面投入了多少的研發(fā)費用？”楊子光問道。 “總共加起來在50多億。”楊杰回答道。 “你們投入這么多，能收回成本嗎？”楊子光關(guān)切地問道。 “請首長放心，我們這套光刻機(jī)我是非常有信心的，”楊杰笑著道：“瑞星科技公司測試試驗的過程中這套設(shè)備運行是很可靠的，也是世界上第一臺氟化氪光源的沉浸式光刻機(jī)，在技術(shù)上來說我們已經(jīng)走到了前面，我也有信心可以從全世界的光刻機(jī)市場里面拿到很高的市場份額，畢竟這么好的東西大家都會想要的。” “這么一臺光刻機(jī)你們準(zhǔn)備要賣多少錢啊？”楊子光問道。 “瑞星公司內(nèi)部也是做過核算，出口價格定在四千萬美金是比較合適的，國內(nèi)的話還要便宜些。” 楊子光張了張嘴，好幾秒鐘后才說道：“你們這個出口價格一臺抵得上兩架梟龍戰(zhàn)斗機(jī)了！” 現(xiàn)在梟龍的價格每架大概在2000萬美金，也是華夏國現(xiàn)在出口的最高端的產(chǎn)品了，不過g1光刻機(jī)卻是要馬上替代掉它了。 在前世的記憶中，艾斯摩爾在沉浸式光刻機(jī)取得突破后尼康和佳能的的高端光刻機(jī)基本被吊打，主流半導(dǎo)體產(chǎn)線中只有少數(shù)低階老機(jī)齡的光刻機(jī)還是尼康或者佳能，其他基本都是艾斯摩爾的天下。 尼康的光刻機(jī)也只能用賣的超級便宜來搶市場了，光刻機(jī)的單價只有2000多萬美金，而同類型的艾斯摩爾氟化氪光刻機(jī)卻是賣到了7000萬美元左右。 相比之下，尼康跟佳能就顯得非常窘迫了。