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    那人連忙把口罩拿下來(lái)了一些，說(shuō)道：“我是項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，李亦平！”

    “李老師，您好！”鄭誠(chéng)連忙跟他握了握手。說(shuō)白了，整個(gè)大樓都是這位在管，加上項(xiàng)目又極其重要，地位當(dāng)然很高。

    “那現(xiàn)在咱們就去看看？”李亦平抬了抬手，示意道。

    “好。”

    跟著李亦平，鄭誠(chéng)跟許連又過(guò)了幾道門(mén)，終于到了實(shí)驗(yàn)室內(nèi)部。第一個(gè)印象就是大！整個(gè)地方跟廠房車(chē)間似的，不是一個(gè)個(gè)房間，而是開(kāi)放式的特別大的地方，與他想象中的竟然相當(dāng)一致。

    第二個(gè)印象則是干凈，所有人都跟他們一個(gè)打扮，這里是恒溫恒濕無(wú)塵環(huán)境。

    大家都在忙碌著，鄭誠(chéng)也沒(méi)去打擾他們，只是跟著陸亦平往前走。

    “李老師，今天不是要做實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證嗎？結(jié)果怎么樣了？”一邊走著，鄭誠(chéng)說(shuō)道。

    李亦平向前指了指，說(shuō)道：“測(cè)試已經(jīng)結(jié)束了，現(xiàn)在正在做結(jié)果評(píng)估，機(jī)器就在前邊。”

    很快，他們就來(lái)到了一個(gè)單獨(dú)劃分出來(lái)的區(qū)域，一臺(tái)……或者分成許多部分的機(jī)器擺放在那，太大了，沒(méi)有外殼，各種線(xiàn)路跟內(nèi)部結(jié)構(gòu)都在那露著。

    李亦平手指了指，說(shuō)道：“這就是驗(yàn)證設(shè)備，當(dāng)然，這并不是完整工作狀態(tài)，省去了很多部分。整個(gè)實(shí)驗(yàn)?zāi)康挠袃蓚€(gè)，一是看技術(shù)原理是不是能夠?qū)崿F(xiàn)，再有則是更直接的展現(xiàn)技術(shù)難點(diǎn)，方便明確接下來(lái)的技術(shù)研發(fā)重點(diǎn)。”

    聽(tīng)著李亦平的話(huà)，又看著眼前這一大堆東西，鄭誠(chéng)也不由得感慨。這玩意就是光刻機(jī)啊！不，準(zhǔn)確的說(shuō)還只是有個(gè)大概模樣，相當(dāng)于蓋房子剛打好地基架了梁。而就這些，他們已經(jīng)忙了兩年多，團(tuán)隊(duì)也從原本的幾十人，擴(kuò)大到了現(xiàn)在的兩三百人。

    “大規(guī)模集成電路制造的核心就在于光刻設(shè)備，為了摩爾定律繼續(xù)發(fā)揮作用，必須想盡辦法提高加工精度。當(dāng)初選中了光刻方式，現(xiàn)在也同樣。

    根據(jù)瑞利公式：cd=k1*(λ/na)，我們能選擇的就是降低波長(zhǎng)λ，提高鏡頭的數(shù)值孔徑na，降低綜合因素k1。不過(guò)，在零件加工精度逼近極限的情況下，擺在面前的其實(shí)只有一條路，選擇波長(zhǎng)更短的光源。”
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