第六十九章 巨額訂單-《超維科技紀(jì)元》
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檢測室內(nèi),神光1x射線光刻機正在運轉(zhuǎn)著,一群工作人員依舊在孜孜不倦的測試和調(diào)整。
作為中芯國際的首席技術(shù)執(zhí)行,官李偉光技術(shù)水平還可以,他兩眼放光盯著眼前的龐然大物,這是多么美妙的工業(yè)之花。
李偉光心想,希望這臺光刻機是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。
高致遠(yuǎn)指著光刻機介紹道:“大家眼前的這臺光刻機,就是我們神光儀器研發(fā)神光1x射線光刻機,具體技術(shù)指標(biāo),想必大家已經(jīng)有所了解了。”
李偉光、趙軍等人當(dāng)然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1x射線光刻機的技術(shù)指標(biāo),他們半路上已經(jīng)研究過。
“高總,貴方的光刻機精度真的可以達(dá)到10~7納米?”李偉光急促的問道。
“我知道大家非常懷疑,一旁有八寸硅片,中芯國際應(yīng)該有帶技術(shù)員過來吧?”
李偉光點了點頭。
高致遠(yuǎn)指著一側(cè)的庫房繼續(xù)說道:“你們可以派人拿著硅片,和我們的員工一起進行光刻測試。”
“那我們就恭敬不如從命了。”李偉光轉(zhuǎn)過頭向中芯國際的人吩咐道:“張工、李工,麻煩你們了。”
倆中年技術(shù)員麻利動手,他們借助工具小心翼翼的將硅片取出。
這些硅片不僅僅價格昂貴,而且非常脆弱,別說摔地上了,哪怕是空氣最好也別直接接觸,因為沾染上灰塵會非常麻煩。
將兩片硅片送入專門的清潔設(shè)備之中,然后涂抹光刻膠,將光刻膠攤平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻膠。
其中的工序非常繁雜,也不能有一絲失誤,這不僅僅考驗機器設(shè)備,也考驗技術(shù)員的水平。
要是其中一個環(huán)節(jié)出現(xiàn)失誤,不僅白忙活了半天,硅片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費了,這些都是真金白銀。
怪不得說科研就是在燒錢。
一個多小時過去,終于到了硅片光刻的步驟,一塊八寸硅片被光刻機的自動化設(shè)備送入其中。
為了避免影響光刻效果,李工通過一個小窗口的透鏡觀察了硅片一會,便將小窗口關(guān)閉,讓光刻室形成一個暗箱。
張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板(電路圖母板),隨便挑選了其中一個模板,輸入尺寸調(diào)整。
因為不同的芯片電路圖,需要的面積不一樣,因此一塊硅片可以刻出多少顆芯片,是要根據(jù)實際情況來調(diào)整的。
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