第(1/3)頁 目前國內的半導體設備,國產化率平均僅16%,可以細分為九個領域。 分別是:氧化/擴散爐(高溫爐)、光刻設備、涂膠顯影設備、蝕刻設備、離子注入設備、薄膜沉積設備、化學機械拋光設備、檢測設備、清洗設備。 氧化/擴散爐(高溫爐)市場主要被外資品牌占據,如米國應用材料、東瀛日立、東京電子等企業。國內目前只有北方華創在這個領域發展。 光刻設備方面,之前全球光刻機市場主要由尼德蘭的阿斯麥(ASML)、東瀛尼康和佳能三家把持。國內就是剛剛崛起的神光儀器,以及之前的微電子。 涂膠顯影設備方面,全球涂膠顯影設備龍頭為東瀛的東京電子、迪恩士和德意志的蘇斯微。國內有競爭力的公司為沈陽芯源微。 刻蝕設備方面,全球刻蝕設備行業前三名分別為拉姆研究、東京電子、應用材料。國內企業里面有中微公司、北方華創。 離子注入設備,全球離子注入機龍頭為米國應用材料和Axcelis公司,兩家合計占據全球近90%的市場份額。國內企業中,只有凱世通和中科信具備集成電路離子注入機的研發和生產能力。 薄膜沉積設備,目前全球市場高度壟斷,應用材料、東京電子和拉姆研究占據了絕大部分的市場。國內企業有北方華創、沈陽拓荊。 化學機械拋光方面,CMP機臺市場被應用材料和東瀛的Ebara高度壟斷,兩者市占率接近90%。國內市場上,華海清科和電科裝備45所是主要的研發力量。 檢測設備方面,目前集成電路質量測量設備全球主要的供應商是科磊半導體(KLATencor)、應用材料和東瀛日立。國產企業主要代表是上滬睿勵科學和上滬精測。 另外檢測設備,還有電學檢測設備,目前電學檢測設備市場集中度很高,其中測試機主要被愛德萬和泰瑞達壟斷,分選機被愛德萬、科休半導體、愛普生等企業壟斷,探針臺被東京電子、東京精密和伊智所壟斷。 國內龍頭長川科技已經布局測試機和分選機市場,積極研發探針臺。華峰測控主要產品為測試機,上滬中藝主要產品為分選機。 最后一個領域清洗設備,全球清洗設備龍頭迪恩士、東京電子和拉姆研究,其中迪恩士一家占比超過50%,是絕對的龍頭。國內企業中,盛美半導體是國產清洗設備的優秀代表。 從上面的九個細分領域之中,是不是有兩個公司的名字密集出現。 那就是米國應用材料和東瀛東京電子,阿斯麥只能在光刻機上獨占鰲頭,但是應用材料有六個領域占據優勢,東京電子同樣是有六個優勢領域。 而國內目前只神光儀器的光刻機達到世界頂級、中微公司的蝕刻機達到世界一流。 剩下的最多只能占據一部分中端市場,大多數是低端市場為主。 第(1/3)頁