第(1/3)頁 檢測室內,神光1X射線光刻機正在運轉著,一群工作人員依舊在孜孜不倦的測試和調整。 作為中芯國際的首席技術執行,官李偉光技術水平還可以,他兩眼放光盯著眼前的龐然大物,這是多么美妙的工業之花。 李偉光心想,希望這臺光刻機是秀外慧中的美人,而不是金玉其外。 高致遠指著光刻機介紹道:“大家眼前的這臺光刻機,就是我們神光儀器研發神光1X射線光刻機,具體技術指標,想必大家已經有所了解了。” 李偉光、趙軍等人當然了解,工信部的公告附件上面,就有神光1X射線光刻機的技術指標,他們半路上已經研究過。 “高總,貴方的光刻機精度真的可以達到10~7納米?”李偉光急促的問道。 “我知道大家非常懷疑,一旁有八寸硅片,中芯國際應該有帶技術員過來吧?” 李偉光點了點頭。 高致遠指著一側的庫房繼續說道:“你們可以派人拿著硅片,和我們的員工一起進行光刻測試。” “那我們就恭敬不如從命了。”李偉光轉過頭向中芯國際的人吩咐道:“張工、李工,麻煩你們了。” 倆中年技術員麻利動手,他們借助工具小心翼翼的將硅片取出。 這些硅片不僅僅價格昂貴,而且非常脆弱,別說摔地上了,哪怕是空氣最好也別直接接觸,因為沾染上灰塵會非常麻煩。 將兩片硅片送入專門的清潔設備之中,然后涂抹光刻膠,將光刻膠攤平到一定的厚度,晾干硅片表面的光刻膠。 其中的工序非常繁雜,也不能有一絲失誤,這不僅僅考驗機器設備,也考驗技術員的水平。 要是其中一個環節出現失誤,不僅白忙活了半天,硅片、光刻膠、清潔液這些耗材就白白浪費了,這些都是真金白銀。 怪不得說科研就是在燒錢。 一個多小時過去,終于到了硅片光刻的步驟,一塊八寸硅片被光刻機的自動化設備送入其中。 為了避免影響光刻效果,李工通過一個小窗口的透鏡觀察了硅片一會,便將小窗口關閉,讓光刻室形成一個暗箱。 張工則在電腦上面挑選著一些掩模模板(電路圖母板),隨便挑選了其中一個模板,輸入尺寸調整。 因為不同的芯片電路圖,需要的面積不一樣,因此一塊硅片可以刻出多少顆芯片,是要根據實際情況來調整的。 第(1/3)頁